テカンジャパンの製品ラインアップ

微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。 シリンジポンプ：Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ：XMP6000 ピストンポンプ：Pullsar PBC 【活用シーン】 ・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下 ・化学機械研磨（CMP）におけるスラリー添加 ・洗浄・エッチング工程での薬液調合 ・メッキ工程（電解・無電解）の添加剤管理 ・パッケージング工程 など 【Cavroシリーズが選ばれる技術的理由】 ・高い分解能: ステッピングモーターによる細かいステップ制御で、極微量の吐出が可能 ・メンテナンス性: 装置への組込み（OEM）を前提とした設計で、クリーンルーム内でのダウンタイムを最小限に ・多様なシリンジ材質: 腐食性の強い半導体用薬液に対しても、適切な材質（PTFE、セラミックなど）を選択することで対応可能

Cavro XLP6000は、様々な自動化装置に採用されている超精密吐出ユニットです。半導体製造装置に求められる24時間365日の連続稼働に耐えうる堅牢な設計と、化学薬品に対する高い耐性を兼ね備えています。 長年培われた信頼のメカニズムが、プロセス液の供給における「ダウンタイムゼロ」を追求し、装置の稼働率（OEE）を最大化します。 【活用シーン】 ・メッキ槽への添加剤・薬液の自動補充：光沢剤や抑制剤を正確かつ定期的に定量補充 ・洗浄・エッチング用薬液のオンデマンド調合：インライン供給するブレンディングシステムに最適 ・現像液・剥離剤の精密供給：大口径ウェーハの面内均一性を確保するための安定した液送りを実現 【なぜXLP600なのか？】 ・量産ラインでの圧倒的な信頼実績 ・メンテナンス性の高さと長寿命設計 ・グローバルなサポート体制

水処理業界における水質検査では、正確なサンプル採取が検査結果の信頼性を左右します。特に、微量成分の分析や、連続的なモニタリングが必要な場合、サンプルの正確な採取と安定した供給が不可欠です。不正確なサンプル採取は、誤った分析結果につながり、水質管理の精度を低下させる可能性があります。テカンの微量液体ハンドリング用ポンプは、高精度な分注能力と、多様なインターフェースにより、水質検査における正確なサンプル採取をサポートします。 【活用シーン】 ・水質検査ラボ ・排水処理施設 ・河川・湖沼の水質モニタリング ・飲料水製造工程 【導入の効果】 ・正確なサンプル採取による分析結果の信頼性向上 ・自動化による作業効率の改善 ・多様なサンプルへの対応 ・ランニングコストの削減

半導体製造のさらなる微細化・高集積化において、製品品質と歩留まりを左右するのは薬液ハンドリングの極限的な精度です。特に、わずかな流量変動が致命的な欠陥につながる次世代プロセスにおいて、従来の送液システムでは対応しきれない課題が表面化しています。 Cavro Centris Pumpは、業界最高水準の分解能（最大192,000ステップ）により、微細化が進む各工程でこれまでにない安定性を提供します。 【活用シーン】 ・フォトレジストの精密滴下（リソグラフィ） ・ナノインプリント用樹脂の供給 ・スリットダイコーティングの流量制御（薄膜形成） ・無電解メッキ液の自動調整 ・電気メッキ（ECP）の添加剤管理 ・薬液のインラインブレンディング ・CMP（化学機械研磨）工程でのスラリー・添加剤の精密供給 【導入の効果】 Centris Pumpは、吐出量のわずかなバラつきや脈動による塗布ムラを解消し、歩留まりの劇的な向上に貢献します。装置への組み込みを前提としたコンパクトな設計は、既存装置のアップグレードや次世代装置の開発において、設計の自由度を最大限に高めます。

Cavro Xcaliburは、装置の小型化・高集積化が求められる半導体関連装置に最適な、コンパクト設計の精密液送ポンプです。30mmストロークのスリムな筐体ながら、上位モデル譲りの定量精度を維持。設置場所を選ばないため、複数のポンプを並列配置する多系統の液送ラインも、最小限のフットプリントで構築可能です。 「高精度な液送はそのままに、装置をよりコンパクトにしたい」——その理想を現実にする、組み込み専用ポンプです。 【活用シーン】 ・マルチチャンネル方式の薬液供給ユニット：複数の異なる薬液を個別に制御して供給する多系統供給システムに好適 ・卓上型・ラボ向け半導体評価装置：研究開発用の試作コーターや、材料特性を評価する小型装置への組み込みに好適 ・分析・検査モジュールへの統合：半導体製造プロセス中の薬液濃度をリアルタイムで監視する分析ユニットや、不純物検査装置のサンプリング・希釈用ポンプとして機能 【なぜCavro Xcalibur なのか？】 ・30mmストロークを採用したショートボディ ・多系統（マルチチャンネル）液送への最適性 ・十分な精度かつリーズナブルな導入コスト

燃料電池（MEA）の製造において、触媒層の均一性はセルの発電効率と歩留まりを左右する決定的な因子です。テカンのハイエンド送液モジュールCavro Centrisは、滑らかな動きにより、理想的な薄膜コーティングを実現します。 【活用シーン】 ・MEA（膜電極接合体）触媒層形成のためのダイコーターやコンマコーターへの液の供給 ・触媒組成の最適化：手作業では不可能な微細な配合比の変化を自動かつ正確に再現 ・電解質膜（PEM）の親水化処理・表面改質：電解質膜への改質液滴下・塗布 【Cavro Centris導入の効果】 ・脈動を抑えた送液による塗布品質の劇的向上 ・高価な触媒材料のロスを最小化する「一滴」の制御 ・過酷なスラリー特性に耐える堅牢な設計 ・タンデム方式（2台運用）により連続フローを実現

微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。 シリンジポンプ：Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ：XMP6000 送液速度：17nl/分～2.4L/分　（エンコーダーによりポンプからの実際の吐出容量をモニタリング） フローコントローラーの調整に頼らず、実際の容量で確実な送液 【活用シーン】 ・スピンコート ・スプレイコート ・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下 ・化学機械研磨（CMP）におけるスラリー添加 ・洗浄・エッチング工程での薬液調合 ・自動滴定調整 ・自動希釈 ・メッキ工程（電解・無電解）の添加剤管理 ・パッケージング工程 など

セミアディティブ工法にも十分に対応、高い再現性と簡単な精密流速調整、安価にCV0.05％を実現 外部圧力に依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml 液量調節単位：最少1nl～　（※） 流速範囲：0.3μl/分～　（5.2nl/秒～） 流速調整単位：　63nl/分～　（1nl/秒）（※） ※装着しているシリンジ容量による 例：250μlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少5nl～　 可能な流速調節範囲：1.6μl/分～12.5ml/分　（26nl/秒～208μl/秒） 流速調整単位：　313nl/分～　（5nl/秒） 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～　 可能な流速調節範囲：62.5μl/分～500ml/分　（1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位：　12.5μl/分～　（0.2μl/秒～） 頑丈設計で装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　6000もしくは48,000ステップ 液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

セミアディティブ工法にも十分に対応、高い再現性と簡単な精密流速調整、安価にCV0.05％を実現 外部圧力に依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml（※） 液量調節単位：最少1nl～　（※） 流速範囲：0.3μl/分～　（5.2nl/秒～） 流速調整単位：　63nl/分～　（1nl/秒～）（※） ※装着しているシリンジ容量による 例：250μlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少5nl～　 可能な流速調節範囲：1.6μl/分～12.5ml/分　（26nl/秒～208μl/秒） 流速調整単位：　313nl/分～　（5nl/秒～） 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～　 可能な流速調節範囲：62.5μl/分～500ml/分　（1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位：　12.5μl/分～　（0.2μl/秒～） 頑丈仕様で装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　6000もしくは48,000ステップ 液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

セミアディティブ工法にも十分に対応、高い再現性と簡単な精密流速調整、安価にCV0.05％を実現 外部圧力に依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml（※） 液量調節単位：最少1nl～　（※） 流速範囲：0.3μl/分～　（5.2nl/秒～） 流速調整単位：　63nl/分～　（1nl/秒～）（※） ※装着しているシリンジ容量による 例：250μlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少5nl～　 可能な流速調節範囲：1.6μl/分～12.5ml/分　（26nl/秒～208μl/秒） 流速調整単位：　313nl/分～　（5nl/秒～） 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～　 可能な流速調節範囲：62.5μl/分～500ml/分　（1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位：　12.5μl/分～　（0.2μl/秒～） 頑丈仕様で装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　6000もしくは48,000ステップ 液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

半導体製造、メッキ液管理装置などで多々の実績。高い再現性と簡単な精密流速調整、安価にCV0.05％を実現。溶液の材質よる流量、流速の最適化が極めて簡単！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml（※） 液量調節単位：最少1nl～　（※） 流速範囲：0.3μl/分～　（5.2nl/秒～） 流速調整単位：　63nl/分～　（1nl/秒～）（※） ※装着しているシリンジ容量による 例：250μlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少5nl～　 可能な流速調節範囲：1.6μl/分～12.5ml/分　（26nl/秒～208μl/秒） 流速調整単位：　313nl/分～　（5nl/秒～） 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～　 可能な流速調節範囲：62.5μl/分～500ml/分　（1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位：　12.5μl/分～　（0.2μl/秒～） 頑丈仕様で装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　6000もしくは48,000ステップ 液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適。 安価と高い再現性（CV値：0.05％を実現） 外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml 液量調節単位：最少1nl～　 流速範囲：0.3μl/分～　（5.2nl/秒～） 流速調整単位：　63nl/分～　（1nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～　 調節可能な流速範囲：62.5μl/分～500ml/分　（1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位：　12.5μl/分～　（0.2μl/秒～） エンコーダーによる吐出量と速度の徹底管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。 I/O端子付きで稼働の連動も容易。稼働量記憶機能でメンテナンスも容易に。 頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　コマンドで6000もしくは48,000ステップ。液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適。 安価と高い再現性（CV値：0.05％を実現） 外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml 液量調節単位：最少1nl～　 流速範囲：0.3μl/分～　（5.2nl/秒～） 流速調整単位：　63nl/分～　（1nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～　 調節可能な流速範囲：62.5μl/分～500ml/分　（1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位：　12.5μl/分～　（0.2μl/秒～） エンコーダーによる吐出量と速度の徹底管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。 I/O端子付きで稼働の連動も容易。稼働量記憶機能でメンテナンスも容易に。 頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　コマンドで6000もしくは48,000ステップ。液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

高価なEUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプ スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適です。また、安価でありながら高い再現性（CV値：0.05％）を実現出来ています。 不安定な外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを容易に行わせることが可能です。 1回の送液の液量範囲：2nl～5ml 液量調節単位：最少2nl～　 調節可能な流速範囲：5μl/分～250ml/分　（83nl/秒～4.16ml/秒） 流速調整単位：　208nl/分～　（2nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：2.5ｍlシリンジを装着時 液量調節単位：最少104nl～　 調整可能な流速範囲：250μl/分～125ml/分　（4.1μl/秒～2.08ml/秒） 流速調整単位：　6.24ml/分～　（104nl/秒～） 特徴：エンコーダーによる吐出量と流速の管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。I/O端子で稼働の連動も容易。稼働量記憶機能あり。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。

高価なEUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプ スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適です。また、安価でありながら高い再現性（CV値：0.05％）を実現出来ています。 不安定な外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを容易に行わせることが可能です。 1回の送液の液量範囲：2nl～5ml 液量調節単位：最少2nl～　 調節可能な流速範囲：5μl/分～250ml/分　（83nl/秒～4.16ml/秒） 流速調整単位：　208nl/分～　（2nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：2.5ｍlシリンジを装着時 液量調節単位：最少104nl～　 調整可能な流速範囲：250μl/分～125ml/分　（4.1μl/秒～2.08ml/秒） 流速調整単位：　6.24ml/分～　（104nl/秒～） 特徴：エンコーダーによる吐出量と流速の管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。I/O端子で稼働の連動も容易。稼働量記憶機能あり。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。

ポンプの特徴が一目でわかる比較表付。 バルブやシリンジオプション、スペックが一目でわかり、製品開発の際の好適ポンプを簡単に検索。 多分岐バルブで様々な薬液を様々な液路へ分配可能。 精密分注はCV0.05％を確実に実現。次世代の半導体製造プロセスに役立つシリンジポンプ類。 フッ酸耐性のシリンジも近日供給可能。 シリンジポンプの流量と流速の仕様： 1回の送液の液量範囲：0.3nl～50ml 液量調節単位：最少0.3nl～　 調節可能な流速範囲：17μl/分～2.5L/分　（0.3nl/秒～41ml/秒） 流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※シリンジポンプの種類と装着しているシリンジ容量(50ul～50ml)により液量と流速は異なります。 シリアル通信とCAN通信下で簡単なコマンドで稼働と微調整が容易。PLC制御に最適 衝撃に強いシャーシを採用。接液部はPTFE。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

世界中のメーカーでで新型コロナウイルス検出のためのPCR装置で多々導入された実績。その他高感度免疫検査装置への組込み実績多々。確実に感染賞を検出する装置の短期開発に。 ・装着可能ディスポーザブルチップ：１種類のユニットで10μｌ～1ｍｌサイズのチップ(液量範囲：1μl以下～1000μl）が装着可能。PCR検査向け遺伝子サンプル用グレードも提供。遺伝子検査で擬陽性を防ぐフィルター付きも提供。 ・簡単な装置組込み、液体コントロール DA15アダプターのみで通信や電源供給。液体の吸引、吐出、速度コントロールはステッパーモーターを直接コントロールすることなく、コマンドで簡単コントロール。液路設計不要で調節簡単。 ・簡単な分注シークエンス設計と動作の担保 液面検知（交差汚染や精度のブレを防ぐ）、チップの自動エジェクトもコマンド一つで実行。エンコーダーによる液送動作確認。チップ装着の有無の認識や液吸引時の圧力モニタリング（空吸い、浮遊物の詰まり、泡吸いなどを感知）機能で確実な分注動作を担保。 ※詳しくは下記「カタログをダウンロードする」ボタンをクリック。↓

高価なEUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプ スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適です。また、安価でありながら高い再現性（CV値：0.05％）を実現出来ています。 不安定な外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを容易に行わせることが可能です。 1回の送液の液量範囲：2nl～5ml 液量調節単位：最少2nl～　 調節可能な流速範囲：5μl/分～250ml/分　（83nl/秒～4.16ml/秒） 流速調整単位：　208nl/分～　（2nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：2.5ｍlシリンジを装着時 液量調節単位：最少104nl～　 調整可能な流速範囲：250μl/分～125ml/分　（4.1μl/秒～2.08ml/秒） 流速調整単位：　6.24ml/分～　（104nl/秒～） 特徴：エンコーダーによる吐出量と流速の管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。I/O端子で稼働の連動も容易。稼働量記憶機能あり。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。

ポンプの特徴が一目でわかる比較表付。 バルブやシリンジオプション、スペックが一目でわかり、製品開発の際の好適ポンプを簡単に検索。 多分岐バルブで様々な薬液を様々な液路へ分配可能。 精密分注はCV0.05％を確実に実現。次世代の半導体製造プロセスに役立つシリンジポンプ類。 フッ酸耐性のシリンジも近日供給可能。 シリンジポンプの流量と流速の仕様： 1回の送液の液量範囲：0.3nl～50ml 液量調節単位：最少0.3nl～　 調節可能な流速範囲：17μl/分～2.5L/分　（0.3nl/秒～41ml/秒） 流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※シリンジポンプの種類と装着しているシリンジ容量(50ul～50ml)により液量と流速は異なります。 シリアル通信とCAN通信下で簡単なコマンドで稼働と微調整が容易。PLC制御に最適 衝撃に強いシャーシを採用。接液部はPTFE。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

ポンプの特徴が一目でわかる比較表付。 バルブやシリンジオプション、スペックが一目でわかり、製品開発の際の好適ポンプを簡単に検索。 多分岐バルブで様々な薬液を様々な液路へ分配可能。 精密分注はCV0.05％を確実に実現。次世代の半導体製造プロセスに役立つシリンジポンプ類。 フッ酸耐性のシリンジも近日供給可能。 シリンジポンプの流量と流速の仕様： 1回の送液の液量範囲：0.3nl～50ml 液量調節単位：最少0.3nl～　 調節可能な流速範囲：17μl/分～2.5L/分　（0.3nl/秒～41ml/秒） 流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※シリンジポンプの種類と装着しているシリンジ容量(50ul～50ml)により液量と流速は異なります。 シリアル通信とCAN通信下で簡単なコマンドで稼働と微調整が容易。PLC制御に最適 衝撃に強いシャーシを採用。接液部はPTFE。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

＝＝＝＝＝　概　要　＝＝＝＝＝ テカン　Cavro XCaliburは、小型/軽量の高分注精度のOEMシリンジポンプです。エクスカリバーは近年その性能や頑丈さにより、世界中の分析装置や臨床診断装置に適用され、弊社の自動分注装置にも積極的に導入されています。 省スペースおよび、高分注精度が要求される製品開発に好適です。 完全RoHSIII対応品です。バルブは様々な液路切り替えに対応(3方向弁～12ポート弁）。写真は特殊な特殊仕様のバルブを装着している仕様です。また、新製品のソレノイドバルブタイプも発売しました。 使用例：血液サンプル前処理装置、体外診断薬用分析装置、滴定処理を伴う分析装置、半導体ウエハのコーティングやディスペンス、メッキ液管理、固相化抽出、自動元素分析装置、スティックタイプ試験薬の製造など様々 流量と流速を常に正確にモニタリングする機能付き 装着可能シリンジ容量：50μl～5ml（カタログをご参照ください） （※デモ、ポンプ貸し出し（評価用キット共に）可能） 詳しい仕様ついては下記「カタログをダウンロード」をクリック。

Centris　Pumpは、正確度、信頼性、再現性の高く、脈動が極めて少ない、装置組込み用の小型シリンジポンプモジュールです。 新Centris Pumpは、シンプルかつ堅牢な機構設計により、メンテナンスがほとんど不要になります。 OEMシリンジポンプの中でも、最少の設置面積。完全RoHS対応です。 活用実績：フローサイトメーター、ウエハ製造での微量送液、滴定装置、マイクロ流路、薄層クロマトの製造、病原体検出装置、大気分析装置など多様 ★　技術仕様は、カタログをダウンロードしてご覧下さい ★ ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ・長寿命セラミックバルブも搭載可能 ・高再現性：0.05%CV以下/FS ・高解像度：181,490ステップ （0.3nl単位で送液量や液送速度を調整可） ・プログラム可能な流速　5nl/s〜12.5ml/s （最大50時間で一ストローク可能） ・コンパクトサイズ（設置スペース 69×45ｍｍ） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

※関連リンクで右下の日本語をご選択ください。 ◆◆下記総合カタログでも詳しくご紹介◆◆ ポンプの特徴が一目でわかる比較表付。 バルブやシリンジオプション、スペックが一目でわかり、製品開発の際の好適ポンプを簡単に検索。 シンプルな装置構成のためのピペットモジュール、世界最高クラスの実績のシリンジポンプ、高耐久性で安価対応のピストンポンプなどを掲載。 使用例：血液サンプル前処理装置、体外診断薬用分析装置、滴定処理を伴う分析装置、半導体ウエハのコーティングやディスペンス、メッキ液管理、固相化抽出、自動元素分析装置、スティックタイプ試験薬の製造など様々 装着可能シリンジ容量：50μl～5ml（カタログをご参照ください） 3000ステップ～18万ステップまでの分解能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。