キッツエスシーティーの製品ラインアップ

『CVC』は、高純度ガス系配管にお使いいただけるよう、当社独自の 電解研磨による表面処理及びクリーンルーム内での洗浄・検査・梱包を 行ったメカニカル式メタルガスケット面シール継手です。 構成部品である「メスナット(NF)」は、メスネジには銀メッキ処理が施され、 かじり焼付けを防ぎ、締め付けが確実に行えます。 また、リークテスト用ポート(2箇所)がガスケットの線上に位置しガスケット 装着確認とリークテストを容易に行えます。 【構成部品及び特長】 ■メスナット(NF) ・メスネジには銀メッキ処理が施され、かじり焼付けを防ぎ、締め付けが確実に行える ■スリーブ(S) ・当社独自の電解研磨等により滑らかな内面仕上げ ■ガスケット(G) ・ニッケル製を標準品として、締め付けによりスリーブとの高いシール性を実現 ■オスナット(NM) ・転造ネジを採用することで高い強度を持ち接続を確実に行える ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『IF』は、大流量対応のメタルガスケットシール継手です。 ニッケルガスケットを採用することでシール性能も高気密を実現し、 耐食性に優れ、腐食ガスにも対応可能。 また、ガスケット固定ピンで仮止めができ、施工時のガスケット脱落を 防止します。回転フランジ採用により、狭い箇所での施工が容易です。 【特長】 ■高純度ガス系での樹脂パッキンシールを排除 ■大流量タイプに好適 ■サイズが10A～80Aと液晶・太陽電池向け大量ガス供給に対応 ■配管施工性が向上 ■使用温度が-200～450℃と広範囲に対応可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『SCF』は、パイプ材から製造し、内面研磨したクリーンな溶接継手です。 放出ガスを抑えるために素材には超高純度配管用2重溶解材をオプション として採用し、電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下を実現。 また、自動溶接に適したネック（直管部）付で突合せ溶接用の開先のため、 高品質の溶接が簡単に行えます。 カタログ外のサイズやフランジ等は各営業担当にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高純度ガス供給用 ■電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下を実現 ■形状がコンパクトなため、配管の省スペース化が可能 ■自動溶接に適したネック（直管部）付 ■突合せ溶接用の開先のため、高品質の溶接が簡単に行える ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『SCM』は、直管部が短いタイプの溶接継手です。 形状がコンパクトなため、配管の省スペース化が可能。 接続端は自動溶接に適したネック付で、放出ガスを抑えるために 素材には超高純度配管用2重溶解材をオプションとして採用しています。 【特長】 ■電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で実現 ■形状がコンパクトなため、配管の省スペース化が可能 ■自動溶接に適したネック（直管部）付 ■高品質の溶接が簡単に行える ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『SCL』は、直管部が長いタイプの溶接継手です。 電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で実現。 直管部が長くマニホールド配管施工の際、単管が不要になる為、 作業工数が減少（溶接箇所1ヵ所不要）します。 【特長】 ■電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で実現 ■直管部が長くマニホールド配管施工の際、単管が不要 ■自動溶接に適したネック（直管部）付 ■高品質の溶接が簡単に行える ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『SQ』は、石英チャンバー・リアクターにお使いいただける、 安全で再現性のある接続継手です。 ナット締め付けによるOリングの供回り防止と、Oリングの抜け止めとして、 フッ素樹脂コーティングワッシャーを使用。 ストッパーによって、ナットの締め付け量が一定で、ナットの締めすぎに よる石英管の破損を防止します。 【特長】 ■抜け・共回り防止 ■フッ素樹脂コーティングワッシャーを使用 ■ストッパーによって、ナットの締め付け量が一定 ■ナットの締めすぎによる石英管の破損を防止 ■超精密洗浄処理により従来品よりクリーン環境で使用可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』は、ボルト1本で締結する構造 となっており、配管施工後でも脱着が可能な継手です。 ボルト締結時、継手が締まる方向に回転する当社独自の構造により、 取付方による継手の緩みは発生しません。 半導体用材料容器搬送時の振動による緩み防止対策や工場配管設備 の地震への防災対策などの安全対策にお使いいただけます。 ＃振動対策 【特長】 ■ボルト1本で締結する構造 ■配管施工後でも脱着が可能 ■リークテストポートへの干渉がない ■取付後でもリークテストが容易に行える ■取付方による継手の緩みは発生しない ■継手用とバルブ用をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

半導体製造工場の装置・設備ごとに使用されるバルブについて まとめた技術資料です。 成膜装置、エッチング装置、洗浄装置といったプロセス装置から、 シリンダーキャビネット、ガス精製装置、液体供給システム、VMB、 除害装置、ユーティリティ配管などの設備まで、各工程でバルブに 求められる条件と当社製品例を掲載しています。 製品選定の参考としてぜひご活用ください。 【掲載内容(一部)】 ■成膜装置(枚葉式/バッチ式/縦型)で使用される製品 ■エッチング装置の役割と使用されるバルブ ■洗浄装置の役割と使用されるバルブ ■成膜工程を支える設備・装置に使用されるバルブ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。