【取扱製品（抜粋）】 ■フィードバックステージシステム ・1nmフィードバックステージシステム ・5nmフィードバックステージシステム ・10nmフィードバックステージシステム ・サブミクロンフィールドバックステージシステム ■真空対応フィードバックステージシステム ・真空対応1nmフィードバックステージシステム ・真空対応5nmフィードバックステージシステム ・真空対応10nmフィードバックステージシステム ・真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

型式：FS-1050X(S) ストローク：50 mm 専用コントローラ使用時 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値） 再現性：±200nmまたは±100nm（内蔵スケール読み値） 最高移動速度：10 mm/s テーブルサイズ：80×60 mm 対応コントローラ：FC-111 or FC-411

型式：FS-1040X(S) 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値） 再現性：±200nmまたは±100nm（内蔵スケール読み値） ストローク：40 mm 最高移動速度：10 mm/s テーブルサイズ：80×60 mm 対応コントローラ：FC-111 or FC-411

○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、リニアスケール内蔵 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○分解能：5nm / 10nm / 50nm / 100nm ○ストローク：30mm（※画像のステージ「FS-1030X」の場合） ※その他の仕様はお問い合わせください。