アドキャップバキュームテクノロジーの製品・サービス一覧

スライド式のビューポートシャッターです。従来主流の回転フラッパー式シャッターと比べ、理想的な光学遮蔽状態と開放時の良好な視野が確保できます。 装置取付時のシャッター板駆動空間も不要です。 サイズはCF70～203までラインナップ、特注仕様も対応可能です。

• 真空機器
• 蒸着装置
• 電子顕微鏡

この製品は真空機器をベーキングするユーザーに向けて開発しました。ベーキング時の圧力変化は真空装置のコンディションを管理する為に有意な情報です。データを記録する機能とグラフ表示、アウトガス状態の変化、或いは漏れの発生も、蓄積されたデータがあれば装置診断の精度も高まります。 WiFi搭載でネットワーク経由のモニターも可能、終夜のベーキング操作も安心です。

• データロガー

セラミックと金属の異材接合技術と超高真空専門メーカーとしての高度な品質基準でオリジナル製品の開発を行っています。 高電圧導入端子のスタンダード製品として最大150KV（DC)の真空用導入端子製品をラインナップ 導体材質、軸端形状指定などカスタム対応も可能

• イオン注入装置
• プラズマ発生装置
• 分光分析装置

解離効率に優れたサーマルクラッキング方式です。CF70マウントのコンパクトな構成です。独自の加熱方式による高い解離効率と放射熱影響のない優れた クラッキングセルです。

• 分析機器・装置
• 電子顕微鏡
• マイクロスコープ

スライド式のビューポートシャッターです。従来主流の回転フラッパー式シャッターと比べ、理想的な光学遮蔽状態と開放時の良好な視野が確保できます。 装置取付時のシャッター板駆動空間も不要です。 サイズはCF70～203までラインナップ、特注仕様も対応可能です。

• 真空機器
• 蒸着装置
• その他半導体製造装置

超高真空対応の小型蒸発源です。電子衝撃加熱蒸発源の一種です。静電場収束によって熱陰極から発生する電子を蒸発材料に照射して蒸発を得ます。磁場収束型の電子衝撃加熱に比較して小型です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に優れる点が特徴です。

• 蒸着装置
• 分析機器・装置
• 電子顕微鏡

ECR励起プラズマ中からアトムフラックスを生成します。低圧動作特性に優れたECR方式のアトムソースです。フィラメントレス構造のこのアトムソースは窒素、水素、酸素などのガス種からのアトムフラックスの生成が可能です。

• エッチング装置
• 蒸着装置
• スパッタリング装置

バッテリー駆動の小型・軽量モバイル式バキュームメーターです。 真空計と表示器が分離したタイプと一体型の製品があります。赤外線通信機能でデータ収集も可能、ログの記憶機能もあります。水銀柱マノメーターに代わる減圧プラント管理にも最適です。

• 脱気装置
• その他プロセス制御
• 丸型コネクタ

超高真空対応の小型蒸発源です。電子衝撃加熱蒸発源の一種です。静電場収束によって熱陰極から発生する電子を蒸発材料に照射して蒸発を得ます。磁場収束型の電子衝撃加熱に比較して小型です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に優れる点が特徴です。

• 蒸着装置
• 分析機器・装置
• 電子顕微鏡