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ターボ分子ポンプ
アルカテル社のターボ分子ポンプはセラミックボールベアリングを採用したグリス潤滑式TMPで、取付方向が任意で使い勝手に優れた、小型・高性能なTMPシリーズです。独自の翼設計技術に裏付けられ、27,000rpmという低回転速度で小型TMPを実現、ベアリングのセラミックボール化と相まって高い信頼性を達成しています。