※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ■電子エネルギー：120eV ■フィラメント電位：100V ■フィラメント加熱電流/電圧＝1.5A/3.0V ■E-Beam脱ガス電力＝480V×10～30mA ■電子電流＝1～4mA（10mA可能） ■偏向電極電位＝155V（デフレクター） ■X線限界＝約5×10-12Pa ■ベーキング温度：最大280℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（一部）】 ■質量範囲：100,200,300amu ■検出器タイプ：FC／EM ■イオン化エネルギー：70eV ■フィラメントタイプ：Y2O3-Ir デュアルフィラメント ■感度：1.0 x 10-6 A／Pa以上（100amu FC Sensor） ■最小検出速度：1.8msec ■動作温度：200℃（FC）,150℃（EM） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など 極高真空製品を多数取り扱っています。 【SEMICON Japan 2019　概要】 会期：2019年12月11日(水)～13日(金) 会場：東京ビッグサイト　西展示棟・南展示棟・会議棟 小間番号：5237 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など 極高真空製品を多数取り扱っています。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

■極・超?真空の?精度な質量分析 ■表?分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電?刺激によって発?するガス分析 ■微量ガス分析（TDS/Out Gas） ■封?デバイス/MEMSのガス分析及び、E-15Pa・m3/sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験及び、微?気泡ガス分析 ■?気圧分析（呼気、燃焼ガス、触媒反応） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（一部）】 ■質量範囲：100、200、300amu ■検出器タイプ：FC／EM ■イオン化エネルギー：70eV ■フィラメントタイプ：Y2O3-Ir デュアルフィラメント ■感度：1.0 x 10-6 A／Pa以上（100amu FC Sensor） ■最小検出速度：1.8msec ■動作温度：200℃（FC）、150℃（EM） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など 極高真空製品を多数取り扱っています。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。