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ウエハーと接触する保持部は、フッ素樹脂PTFE製で耐薬品性・耐熱性に優れ基板に傷をつける恐れもありません。 USLウエハーホルダーは、ウエハー・マスクウエハー・ディスク・丸型基板・角型基板、サイズも小型から大型用と様々なタイプがあります。
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