【豊富な製品バリエーション】 ○研究開発用途　○大型パネル自動測定　○ロールツーロール測定　○FTIRオプション　○光学式細孔率　○細孔分布測定　などあらゆる製品をご提案可能 【薄膜太陽電池向け分光エリプソメーター】 ○アモルファスシリコン　○微結晶シリコン　○GIGS　○CdTe　○DSSC　○有機物等の、光学特性の測定が可能　○ITO膜 【測定可能な物理特性】 ○膜厚と光学屈折率(n,k)　○屈折率の勾配と材料組成 【アプリケーション】 ○半導体　○シリコン、有機、化合物半導体　○太陽電池　○有機EL　○LED　○ポリマー　○フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）　○医療、バイオ　○ＰＥＴフィルム　○燃料電池　○グラフェン 【仕様】 ○波長範囲：190nm-2400nm　○測定スピード：全波長範囲　1秒～ 【オプション】 ○FTIR　○ポロシメーター　○マイクロスポット　○コンペンセーター　○自動マッピング・ステージ　○シート抵抗　○反射率計　○ラマン分光　○透過率計 仕様や価格については、お気軽にお問い合わせください。

分光エリプソメーターにFTIRがついたモデルです。

※測定原理や測定例、解析プロセスを紹介した技術資料を進呈中。 「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。 ※デモの実施も可能です。 【分光エリプソメトリーについて】 分光エリプソメトリーでは、全波長領域における測定データ(Δ,ψ)に対して 適当な光学モデルを適用し解析を行います。 解析の結果として、各層の膜厚、屈折率、消衰係数が得られます。 膜厚はサブ・ナノメートルから測定が可能で、再現性にも優れています。 多層薄膜や材料の光学特性の検査に幅広く使用されています。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。

【その他の掲載内容】 ■光学干渉について ■解析アプローチ ■解析プロセス ■測定結果イメージ ■お問い合わせ先 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。