◆◇◆対処法◆◇◆ ◆現状の2軸マニピュレーター(上下軸・回転軸)から、3軸マニピュレーター （上下軸・回転軸・マスク上下軸）への変更を提案した。 （現状の2軸マニピュレーターから新規3軸マニピュレーター製作へ） ◆下部フランジを弊社有機蒸着セル（KOD-Cell）が最大限設置可能な設計を提案した。 （有機蒸着セル：最大8源取り付け可能、金属蒸着セル：最大3源取り付け可能） ◆◇◆結果◆◇◆ ◆新規3軸マニピュレーターを設計製作した。それに伴い、 追加制御機能を新規　PLC制御パネルにて構築し、既存の制御系と ドッキングする事を可能にした。基板ホルダー及びマスクホルダーを 各々搬送可能になった事により、実験の拡張性が大幅に増え、 様々なパターンの実験が可能となった。 ◆新規下部フランジを設計製作した。外周に有機蒸着セル（KOD-Cell）を 8源、中央に3元金属蒸着セル（KMDT-Cell）がそれぞれ設置可能な構成を構築した。 これまで、有機蒸着のみの部屋であったが、金属蒸着も可能となり、 大幅に実験の拡張性が増え、様々な材料蒸着に可能とした。

◆◇◆対処法◆◇◆ 弊社、有機材料開発用蒸着装置（KVD-OLED Evo.Cluster）を提案した。 本装置は、コンパクト性を有し、排気系等の使用機器類は、高グレードな 物を選定し、ソフトウエア制御との組み合わせにより、蒸着の高精度化、 制御系の高効率化を最大限に図る様々な仕様を提案した。本システムは、 一からの設計製作になり、お客様の要望を全て盛り込む形を提案した。 ◆◇◆結果◆◇◆ 自動制御システムの確立により、生産効率が向上し、24時間フル稼働運転が 可能になった。（以前は、9:00〜17:00運用）また、省スペース性を重視し、 無駄の無い装置配置構成となっており、人間工学に基づいた取り扱いに 大変優れた装置となった。操作方法として、パソコンによる操作を採用することにより、 予約機能等を盛り込む事が可能となり、自由度が大幅に向上した。

◆◇◆対処法◆◇◆ 金属蒸着セル・KMDW-Cellを提案した。この蒸着セルは、ルツボ式であり、 タングステンフィラメントを通電加熱することにより蒸着させる機能を有している。 ルツボ容量は、1ccである為、厚膜作製には向かないが、省スペースに多元設置可能な 設計である。ルツボ構成に、コールドリップ方式を採用している為、 材料加熱による吹きこぼれ・回り込みを低減する効果がある。 ◆◇◆結果◆◇◆ 本ユニットは、一般な金属蒸着であるボート式に比べ、使用電流は1/10と大幅に減少した。 蒸着レートは、0.1A/s台にて制御可能であり、緻密なコントロールが可能となった。 また、消費電力が1/10と減少したことにより、有機膜へ発熱が及ぼすダメージが 低減可能となった。また、ルツボ方式の為、指向性に優れた設計となり、 メンテナンスが容易となった。

◆◇◆対処法◆◇◆ 有機蒸着セル・KOD-Cellを提案した。KOD-Cellは、ルツボ容量は1ccと極めて小さく、 ルツボ材質に熱伝導率の良いシェイパル（マシナブルセラミックス）を 使用することで、温度安定性及び取り扱いに優れている。 ◆◇◆結果◆◇◆ KOD-Cellの先端部へ配向性を高める為に蒸着ノズルを設置することにより、 ルツボ容量1ccとコンパクト性に優れていることから、指向性が非常に良く、 メンテナンスが容易となった。また、極低レート蒸着制御が 膜厚コントローラー及び温調器の組み合わせにより可能となり、 材料効率及びメンテナンス性が良く地球環境に優れた製品である。 また、手軽に蒸着実験をしたい研究者の方々から、高い評価をいただいている。

◆◇◆対処法◆◇◆ 冷凍機の先端部に直接Tipホルダーを取り付け冷却していた為、 どうしても振動を拾ってしまう機構になっていた。 そこで今回は振動をなくすために、冷凍機とTipを分離させ、 冷凍機の振動を拾わない構造へと改良を行った。 ◆◇◆構成◆◇◆ ◆固定方法 冷凍機と独立したフランジよりスタットを設け固定。 ◆冷却方法 冷凍機先端より銅板を用いてTipホルダー固定用の治具の冷却行う。 Tipホルダーの冷却は、冷凍機の先端よりブレード（Ag）を用い冷却を行う。 ※最小部材のみを冷却する事に変更 ◆◇◆成果◆◇◆ 今回の改良により、Tip先端がほぼ無振動に近い状態となり、レーザーを 局所的に照射する事が容易になった。また、冷却部を最小範囲とした事により、 冷却能力のアップが実現出来た。