◆◇◆掲載内容◆◇◆ ◆製品案内　真空部品 ・ICF規格品 ・ISO（KF・LF）規格品（NW） ・JIS規格品 ・チューブ継手付ブラシ ・ガス導入バルブ付フランジ ・ガスライン用フレキシブルチューブ ・電流導入端子シリーズ ・低温高圧セル ・アクセサリー ◆製品案内　導入機 ・直線導入機（Z軸） ・上下機構（Z軸） ・中空直線導入機（Z軸） ・中空回転導入機（φ軸） ・多軸複合導入機 ・トランスファーロッド（Z-φ軸） ・Xステージ ・X/Yステージ（X/Y軸）　など ◆製品案内　チャンバー ◆技術資料　など ◆ダウンロードボタンより掲載内容一覧(サンプル)をご覧頂けます。　 ◆カタログご希望の方は、資料請求よりお問い合わせ下さい。（無料にて配達致します。）

☆掲載内容☆ ■PVD装置コンポーネントガイド ■チャンバータイプ別仕様 ■蒸着構成／各蒸着源仕様 ■機能構成　マニピュレーター ■機能構成　シャッター/その他 ■機能構成　ロードロックチャンバー ■計測・分析構成　真空計・水晶振動子 ■計測・分析構成　フラックスモニター・RHEED ■電源・制御構成　架台・ラック ■電源・制御構成　制御コントローラ ■その他・付属構成 ■排気構成　ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ ■特注品【ORDER MADE】 ■インターネットサービスのご案内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

【掲載製品】 ■真空部品 　◎ICF規格品　　　　　　　　　◎ISO（KF・LF）規格品（NW） 　◎JIS規格品　　　　　　　　　◎チューブ継手付フランジ 　◎ガス導入バルブ付きフランジ ◎ガスライン用フレキシブルチューブ 　◎電流導入端子シリーズ　　　 ◎低温高圧セル 　◎アクセサリー ■導入機 　◎直線導入機（Z軸）　　　　　◎上下機構（Z軸） 　◎中空直線導入機（Z軸）　　　◎回転導入機（φ軸） 　◎中空回転導入機（φ軸）　　 ◎トランスファーロッド（Z-φ軸） 　◎Xステージ　　　　　　　　　◎X/Yステージ（X-Y軸） 　◎セミ・マニピュレーター　　 ◎チルト機構（ω軸） 　◎蒸着セル　　　　　　　　　 ◎シャッター機構 　◎エントリーハッチ　　　　　 ◎ベロージョイント 　◎オプション ■装置 　◎チャンバー　　　　　　　　 ◎その他ユニット　など ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

【ラインアップ】 ■ICF規格品 ■JISチューブ ■チューブ継手付フランジ ■ガス導入バルブ付きフランジ ■ガスライン用フレキシブルチューブ ■電流導入端子シリーズ ■低温高圧セル　　他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【使用例】 ■MBE装置 ■CVD装置 ■有機材料成膜装置 ■分析装置　　他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社の「導入機シリーズ」は、完成度と自由度の高い標準規格品を多数取り揃えており、 組み合わせにより研究開発者の多様なニーズにお応えすることができます。 全ての製品はアウトガス低減対策を施しており、実験環境を妨げることなく高精度・高再現性を実現します。 また、要求仕様・研究開発目的に応じた特殊機構をご用意いたします。 【主な用途】 ◎試料搬送・受け渡し ◎試料加熱・冷却 ◎薄膜作製 ◎試料解析・分析　など ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

□■掲載製品■□ ■有機材料開発用成膜装置　KVD-OLED Evo.Cluster ■有機材料開発用成膜装置　KVD-OLED Evo.2 ■有機材料開発用成膜装置　KVD-OLED Evo.3 ■有機薄膜簡易蒸着装置 ■有機電子デバイス作成・評価装置 ■有機蒸着セル ■金属蒸着セル □その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。