ケーエヌエフ・ジャパンの製品ラインアップ

接液材質 RP: PPS / EPDM RT: PPS / PTFE / FKM 液滴量: 50 … 200 μl 最大流量(ドージングモード): 40 mi/min 最大流量(プライミングモード): 65 mi/min セットポイント精度: ± 2% RD 再現性精度: 0.5%以下 最大吸引揚程: ≥ 4.5 / 13 @ 200 μl shot volume 最大吐出揚程: 60 mH2O

半導体業界、特にウェーハ製造においては、真空環境の精密な制御が製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。ウェーハ表面の異物付着を防ぎ、均一な処理を行うためには、安定した真空度を維持することが不可欠です。真空度が不安定な場合、ウェーハの品質劣化や製造プロセスの遅延につながる可能性があります。NVC830.3シリーズは、閉ループ真空制御により、ウェーハ製造プロセスにおける真空環境を精密に制御し、安定した品質と高い生産性を実現します。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送 ・エッチングプロセス ・成膜プロセス 【導入の効果】 ・真空度の安定化による歩留まり向上 ・プロセスの最適化による生産性向上 ・製品の品質向上

鉱業分野では、正確な試薬の供給が、採掘プロセスや分析の精度を左右します。試薬の流量が不安定な場合、分析結果の信頼性が損なわれたり、工程の効率が低下する可能性があります。FMS-FC 1.400 流量制御付きメータリングポンプは、閉ループ制御により安定した流量を実現し、鉱業における試薬供給の課題を解決します。 【活用シーン】 ・鉱石分析 ・浮遊選鉱 ・試薬混合 【導入の効果】 ・安定した試薬供給による分析精度の向上 ・工程の効率化 ・製品寿命を通じた安定した流量供給

主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気

主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気

主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気

主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気

主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気

主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気

主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気

主な特長 ・閉ループ真空制御 ・設定可能なポンプインターフェースと性能 ・汚染のない流量 ・カスタマイズ対応可能 ・メンテナンスフリー ・設置位置を問わず動作可能 ・長寿命 ・高い空気圧性能 ・コンパクトサイズ／高出力密度 ・高い耐結露性 代表的な適用アプリケーション ・医療 ・分析機器 ・ガスサンプリング ・インクジェットプリンター ・脱気 ・安全/セキュリティ