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【その他仕様(一部)】 ■404L ・操作方向：左用 ・ストローク：X,Y,Z 各6mm ・トラベル量：X,Y,Z 各500μm/回転 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他仕様】 ■403L ・操作方向：左用 ・ストローク：X,Y,Z 各10mm ・トラベル量：X,Y,Z 各500μm/回転 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【装置仕様】 ○基板ホルダークランプ範囲：最大170mm ○基板取付範囲：最大170mm×約300mm ○ステージトラベル範囲：X ±25mm、Y ±25mm ○顕微鏡スキャン範囲：X ±24mm、Y ±24mm ○顕微鏡退避トラベル：最大80～90mm ○Zステージ調整範囲：最大15mm ○本体寸法：幅440×奥行500×高300mm（顕微鏡を含まず） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
12インチ対応のマニュアルプローバーです。 チャックを変える事により最大320×320の液晶基板対応 可能です。 オプションにてホットチャック搭載可能です。
信頼性試験やデバイス特性評価用に最適な 8インチ対応のマニュアルプローバーです。 その他、6インチ、12インチ対応のマニュアルプローバーもラインナップしております。
TDDB測定用専用プローバーです。 専用セラミックカードを使用すれば、8インチウエハー の全面一括コンタクト測定が可能で、測定時間の短縮に 大きく役立ちます。
検査、搬送、位置決め工程などの自動化に。提案例の紹介資料進呈
業界の枠を超えたリニューアルでビジネスを加速！総合カタログ進呈
吊り下げ搬送の自由度UP。後退や加速が容易なコンベアの資料進呈
