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電解研磨は金属をリン酸系の溶液の中で対象物を陽極として、電気化学的に表面を数ミクロン溶解する処理です。表面を溶解させながら研磨処理するために、表面の汚染物は処理中に除去され、非常に清浄な表面が得られます。またバフ研磨等の機械研磨によるおこる加工変質層がなく、金属深層部と同じ性質を持った表面が得られます。
アルミ製真空装置部品に、アルマイト等の表面処理を行うと、皮膜がポ−ラスなため放出ガス量が上昇してしまいます。アルミの電解研磨処理は比較的緻密な皮膜が形成されるため、放出ガスの上昇を抑えることができます。
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