伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。 かつての半導体熱処理は、ファーネス（断熱）が一般的だったが ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。 また、次世代半導体においては、熱流束技術として フラッシュランプアニールが主流となっています。 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、食品の保温（加熱）の事例紹介です 【特徴】 ○ハロゲンランプヒータは点灯することで 　可視光と赤外線、つまりあかりを照射するとともに 　熱放射を行う。この特性を利用し食品の保温を兼ねた 　ショーケースとして利用される ○投入するエネルギー量のよっては、保温のみならず 　加熱調理用電源としての利用も可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、浴室乾燥の事例紹介です 【特徴】 ○浴室乾燥機にハロゲンヒータを採用 ○ハロゲンヒータの光は輻射熱として照射されるため 　温風タイプとは異なり、周囲環境に左右されにくく 　点灯直後から暖かく感じることができる ○ヒータの電極部分はシリコン接着剤を使用した 　耐水構造を施しており、高湿度環境下でも信頼性を 　損なうことなく、使用することが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です 【特徴】 ○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄 　液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される 　純水や薬液を保温・加湿することが可能 ○高品質の石英ガラスで2重に覆われた 　ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく 　加熱効率95％以上と高効率に加熱することが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、電極の焼成の事例紹介です。 ハロゲンヒータを使用することで、ハロゲンヒータが持つ 高速昇温性、配熱分布や放射波長により 基板や電極材料の特性にマッチした熱処理を行うことができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。