【特徴】 ○シリコン専用設備で不純物汚染管理を実施 ○スリップフリー 　シリコンウェーハと同じ熱膨張率材を採用し、ウェーハヘのスリップ発生を低減 ○耐久性の向上により､ランニングコストを低減 　耐熱性に優れ、熱変形による耐久性を向上 ○洗浄品質管理 　シリコン専用クリーンルームで汚染管理を実施し、コンタミネーション、パーティクルを低減 ○ザグリ底面部の鏡面加工仕上げが可能 半導体ウェーハ熱処理時の温度分布が均一になり、品質バラつきの改善が可能 ○形状･サイズのカスタム対応を実現 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

【加工製品例】 ■マイクロチャンネルクーラー ■マウント/キャリア ■高耐圧型シームレスマイクロチャネル ■Cu-AlN-Cuサブマウント ■CuWサブマウント ■ガラス貫通配線基板(TGV) ■キャビティガラス/キャップガラス　ほか ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他取扱製品】 ■その他の製品 　・シリコン製品 　・各種材料　加工製品 ■開発製品 　・3D配線基板 　・HY製品 　・Si+Glass一体基板 　・TGV（CuめっきVia） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。