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株式会社テクノメイト

住所東京都八王子市左入町959-2
電話042-659-3915
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  • 公式サイト
最終更新日:2025/01/06
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薬液供給関連装置

薬液供給関連装置

◆簡易スラリー供給装置 ◆連続式スラリー供給装置 ◆キャニスタユニット ◆オゾン分解装置 ◆インライン薬液供給装置 ◆添加剤滴下装置

ドライソルベントHS供給機 C27A

ドライソルベントHS供給

本装置は供試品の特性試験のためドライソルベントHSを一定圧力、一定温度で安定的に供給し循環使用するためのものである。 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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薬液供給装置(キャニスタユニット) P82

酸系2薬液、アルカリ系1薬液の原液コンテナを収納しN2による加圧圧送により原液を供給するための装置です。

CMP装置の原液供給に使用されます。 【特長】 ■PTFE製バルブを使用 ■排気用ダンパーを内蔵 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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連続式スラリー供給装置 P85

特許取得の調合方法で当社従来比15%以上のコストダウンを実現!燃料電池・二次電池の触媒スラリーの供給用途等に応用も可能!

『連続式スラリー供給装置 P85』は、半導体のウエハー研磨工程で加工時に塗布されるスラリーを供給する装置です。 冷凍機とヒーターの低容量化で、装置容積は当社従来比61%低減して供給流量も増大。 また、原液補給から供給可能までの所要時間を当社従来比で52分⇒22分に大幅短縮しました。 【特長】 ■当社独自の調合方式でスラリーと純水を調合<特許取得済> →ポンプが不要となり、当社従来比15%以上のコストダウンを実現 ■当社独自の加熱方式によりスラリーを加熱<特許取得済> →高効率、ハイレスポンスの加熱を実現 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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簡易スラリー供給装置 P65

ウエハ研磨用

スラリー液をタンク内で希釈混合したものを装置へ供給するための実験用供給装置です。 【特徴】 ○タンク容量:125L アイボリー塩ビ製 ○ダイアフラムポンプ:10リットル毎分 ○供給エア:85リットル毎分 ○電源容量:AC100V 5A

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