対象となる装置より温風発生の指令を受け内蔵タイマーにより一定時間 温風を発生し､ウエハに乾燥用温風を供給するためのものである 【仕様】 ○電源電圧 AC100V±10%､ 10A 50/60HZ ○電源接続ブレーカーの1次側に端子台を介さず直接接続する ○各部温度設定範囲及び上限温度リミッタ設定 ○温風タイマー設定時間 : 0~10分 【安全仕様】 ○温度コントローラが｢センサ異常｣や｢温度異常｣を検出した場合､温度コントローラの電源を切断し「運転異常」ランプを点灯する ○ノズルヒータ制御の故障による温度上昇を防ぐためヒータ出口に独立した温度計にてモニターし設定温度を超えたときは温度コントローラの電源を切断し｢温度異常｣ランプを点灯する ○ノズル先端温度を計測する温度計を内蔵する ○寸法：W200×D200×H375