均一な直径のシリコンインゴットを製造 長時間でも安定的に駆動可能な、シリコン単結晶引上装置 【特徴】 ○真空炉内（高温・低圧）の石英るつぼでシリコン原料を溶解後 　単結晶の核となる種結晶をシリコン融液に浸漬し 　その種結晶を回転させながら引き上げることで単結晶インゴットを製造 ○種結晶を引き上げるプルヘッドは垂直方向への結晶引き上げを保証。 　均一な直径のシリコンインゴットが製造可能 ○長時間でも安定して駆動 ○引き上げプロセスは、工程管理用の操作パネルとオペレーターが 　状況に応じて適宜装置を動作させられるタッチ式ハンディコントローラで管理 ○オペレータの使いやすさに配慮した 　視認性に優れ、直感的な操作が可能なGUI