ナノリニア(R)NTは、鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ用ヘッドなどを配置した、機能美に優れたコンパクトなリニアモータテーブルです。テーブルの案内部には、小形直動案内機器の分野で定評のあるIKOリニアウェイとリニアモータの組合せにより高精度な位置決めを実現します。可動子には、高性能ネオジウム磁石の採用により、極めて小形でありながら大きな推力が得られ、高速・高応答な位置決めを可能にします。また、機械的接触部分は、リニアウェイのみなので高いクリーン度を実現します。軽量・省スペース・省エネルギー化を可能にするナノリニア®NTは、半導体・液晶関連製造装置やクリーン環境が要求される測定器や検査装置などのコンパクトな位置決め機構として最適です。

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