【仕様】 ■撮像部 ・カメラ解像度：16384画素／LINE ・センサー方式：モノクロ　CMOSセンサー ■照明部 ・光源：RGB3色LED ・点灯切替速度：100μsec ・制御I/F：USB ■測定部 ・スキャンスピード：300μsec/Line ・計測サイズ：300mm（幅）×240mm ・スキャン時間：4秒 ■構成：計測部、制御PC、照明制御BOX、ディスプレイ ■電源仕様：AC100V、110V　50,60Hz　10A ■寸法 ・計測部700（W）×700（D）×730（H）mm ・制御部250（W）×500（D）×550（H）mm ■重量：70kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 基板検査装置
• 画像解析ソフト
• その他画像関連機器

【対物レンズと分解能　測定視野】 ＜対物レンズ倍率／分解能／測定視野＞ ■X5／0.68μm／5440μm ■X10／0.34μm／2720μm ■X20／0.17μm／1360μm ■X50／0.068μm／680μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• 基板検査装置