アプコの製品・サービス一覧

『ABK-5』は、けがき加工を施した断面観察用試料を、手軽に破断さ せる事が出来る試料破断器です。 けがき加工を施した試料をセットし、破断用ノブをゆっくり回して試 料を破断できる簡単な加工手順です。 こちらの製品は、断面SEM試料片作製システム「AMCシリーズ」の オプションとして使用されます。 【特長】 ■試料幅約5mmまで対応 ■各種半導体ウェハの破断が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 粉砕機
• その他理化学機器

『AMC-8000』は、シリコン・GaAs等の各種半導体板、液晶基板・マ スク等のガラス材の断面観察試料片を無研磨・短時間で作製する破 断装置です。 ローラーカッターを用いたケガキ加工+専用工具による破断システムを 採用し、無研磨・完全ドライカットを実現しています。 エアー吸収は不要で、ユーティリティは100V電源のみとなります。 【特長】 ■簡易操作 ■破断システム採用 ■高精度な断面試料作製 ■エアー吸引不要 ■ユーティリティ100V対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 粉砕機
• その他理化学機器

『AMC-7800』は、マスクガラス・シリコン・SiC・液晶基板・サファ イア基盤などのSEM観察用の断面試料を作製する為の破断装置です。 操作は5ステップのみと簡単で、短い時間で端麗な破断面持った観 察試料片を作製することができす。 また、作業性を大幅に改善させることが可能になります。 【特長】 ■無研磨 ■完全ドライカット ■高精度ケガキ機構採用 ■スキップケガキ機構採用 ■低ランニングコスト ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 粉砕機
• その他理化学機器

『AMC-7600』は、タングステンカーバイトのローラーを用いた、 高精度なSEM観察用断面試料を手軽に作製する為の破断装置です。 短時間で、高精度ケガキ機構+スキップケガキ機構を採用しており、 微小部位の端麗な破断面を取得することができます。 断面SEMサンプルを手軽に作製したいお客様のご要望を、当製品が可能に します。 【特長】 ■簡単操作 ■短時間 ■無研磨 ■完全ドライカット ■低ラニングコスト ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 粉砕機
• その他理化学機器

『AIP-38』は、二次電池を備えたイオンポンプ制御電源です。 停電時、長期休暇時や輸送時に高真空を維持し、故障や排気時間のロスを 回避する事ができます。 対応機種(コネクタ形状)の変更、出力電圧の変更(-4kV,-3kV等)、 排気継続時間(バッテリー容量)の変更など特殊仕様のご相談にも応じます。 【特長】 ■最大7日間連続運転可能 ■最大３台のポンプを同時に駆動可能 ■トリクル充電機能 ■キャスター装備で移動が容易 ■瞬間停電にも対応 ■電圧・電流モニター ■高圧出力の安全回路 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
• 電源

小型二次電子検出器『MINI-SED』は、シンチレータタイプの検出器で、 反射電子、二次電子を捕獲し増幅して電気信号として出力します。 コンパクトな設計のため、省スペース化を実現できます。 また、既存の装置への機能追加として使用可能です。 短タイプ(先端長：50 mm)、細タイプ (先端径：φ10mm)など 特殊仕様等のご相談にも対応いたします。 【特長】 ■pAからμAまでの幅広い電流検出範囲 ■最高応答速度5MHz ■超高真空対応(ベーキング温度<150℃) ■省スペースでの取付けが可能 (取付フランジCF70) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• マイクロスコープ
• 光学実験部品

『低加速SEM・計測/解析用電源ユニット』は、小型電子線鏡筒 MINI-EOC用の操作電源です。 JIS標準ラックに収納可能で安定性があります。 また、用途に合わせて各ユニットを自由に組み合わせられます。 【特長】 ■JIS標準ラックに収納可能 ■お客様の目的に合わせて各ユニットを組み合わせ可能 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置
• 画像処理機器
• 電子顕微鏡

高性能ウェハ・マスク破断装置『AMCシリーズ』は、タングステンカーバイドの ローラーを用いたSEM観察用断面試料を手軽に作製する為の装置です。 加工プロセスは、モニターを見ながらけがき位置のティーチングし、自動でけがきを開始します。 観察部は自動スキップされ、けがきによる内部応力を利用して試料を破断します。 電子顕微鏡のサンプルホルダー等に挿入できるように試料を切り出します。 『AMCシリーズ』は、短時間で精度よく簡単に断面試料を作製することができます。 【特長】 ■最小±2.5μmの位置精度でのけがきが可能 ■けがきの応力を利用した破断方法を採用 ■クリーンな断面を持った試料作製が可能 ■けがき圧力の連続設定 ■曲面試料であっても一定圧力でのけがきが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• マイクロスコープ
• その他加工機械

小型電子線鏡筒『MINI-EOC』は、Schottkyエミッタを用いた組込可能な電子線鏡筒で、 既存の装置へ追加する事ができます。 主に大電流密度や低加速を要求される計測や解析(LEED(低速電子回折)、 AES(オージェ電子分光法)、EDS(エネルギー分散分光法)、 EELS(電子エネルギー損失分光法))等に応用できます。 超高真空対応のSPM(走査プローブ顕微鏡)等と組み合わせてお使いください。 【特長】 ■低加速・大電流密度 ■静電型採用の為、漏洩磁場が少ない ■超高真空対応(ベーキング温度<150℃) ■省スペースでの取付けが可能(取付フランジCF114) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他画像関連機器