レイリサーチの製品・サービス一覧

ウエハ受けステージからウエハを取出し、測定ユニットまで自動搬送を行います。 測定終了後は、ウエハを指定されたアンロードカセットに収納可能です。 お客様ご希望の測定機、検査機に対応します。 【特徴】 　■ご希望の測定機、検査機を搭載可能 　■8インチ・12インチウエハに対応 　■測定条件、測定結果を上位転送可能

• その他半導体製造装置

移載機能と厚み測定機能を備えたウェーハ厚み測定装置です。 指定したウェーハ内の各ポイントの厚みを測定することが可能です。 6インチ・8インチウェーハに対応しています。 【特徴】 　■移載機能と厚み測定機能を搭載 　■6インチ・8インチウェーハに対応 　■最大2000点のポイントを測定可能 　　（厚み測定ポイントは任意に設定可能） 　■取得データのリアルタイムモニター機能を搭載

• その他半導体製造装置

純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。 独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。 ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。 【特徴】 　■搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功 　■純水とエアーの2流体でウェーハを徹底洗浄が可能 　■歩留まりに貢献

• その他半導体製造装置

太陽電池モジュールのクラック検査、電極短絡検査、セル受光面欠陥検査を行う装置です。 オプションで配線部短絡による発熱検査に対応することも可能です。 インライン方式またはオフライン方式に対応します。

• 欠陥検査装置

太陽電池用ウエハの「IR検査」・「表面/裏面検査」・「厚み検査(簡易Bow/Warp)」・「抵抗値測定」と4工程の検査を行う装置です。 ウエハを1秒/枚と高速で検査することが出来ます。

• 欠陥検査装置

本搬送機は、ウエハを1枚毎に分離し搬送します。スタック（ウエハが重なった状態）ウエハも搬送することが出来ます。

• その他搬送機械

フープドアを自動で開閉するフロントオープンタイプのフープオープナーです。必要な機能のみを搭載していますので、無駄がなく、低価格にてご提供致します。顧客の必要機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。各カスタマイズ仕様につきましては、お気軽にお問い合わせ下さい。 ■特長 ・コンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。 ・カセットドア開閉動作を10秒以内で行います。 ・カセットを設置し、OPEN/CLOSEボタンを押すだけの簡単操作でドア開閉動作を行います。

• その他半導体製造装置

薄物ウエハ（150μｍ）対応可能なウエハ移載機。 ■特長 １．通常厚から薄物ウエハまで幅広く対応することが出来る。 ２．低価格にてご提供することが出来る。 ３．高スループット。 ４．対象ウエハは、５、６、８、インチウエハ。 ５．豊富な装置バリエーション。(２〜４キャリアまで対応可能） ６．ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供。 ７．ID読取り対応。（Semiフォント/２次元コード他） ８．生産管理システムとの上位通信。

• その他半導体製造装置

従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。 ■特長 ・省スペースなコンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。 ・検査ユニットとのドッキングが可能です。 ・対象ウエハは、100mm〜200mm オリフラ・ノッチに対応可能です。 ・ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供します。

• その他半導体製造装置