三友製作所の製品・サービス一覧

三友製作所は新たなマイクロプラズマ加工技術の開発に成功しました。 当社が開発したマイクロプラズマ加工では、 プラズマ密度を高くしながらも、プラズマ径を小さくしているため、 高速加工とマスクレス局所加工の両方を可能にするスポットプラズマ技術です。 局所化プラズマにより深堀平坦加工や局所加工が可能となり、 半導体故障解析用試料の前処理時間の大幅な短縮を実現します！ この技術を応用した局所プラズマ加工装置では、 反応生成物を直接排気できるので加工残渣の低減を可能とし、 さらに、基板表面にプロセスガスを吹き付けずに局所加工が行えます。 【進呈資料】 ■プラズマ源の比較資料（スポットプラズマの紹介） ■局所プラズマ加工装置の紹介資料 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※特許の詳細もPDF資料をご覧ください。

• プラズマ発生装置

『AP-1000』は、高精度な6軸ステージを搭載した卓上精密研磨装置です。 GUI上でサンプルの加工範囲を指定するだけで加工が可能。 面倒な高さ合わせを行う必要はございません。 パッケージ局所開封処理や局所基板薄片処理にご使用いただけます。 【特長】 ■高精度6軸ステージ搭載 ■オートレベリング機能 ■荷重検出機構搭載 ■レシピ登録機能（最大256個） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ウエハ加工/研磨装置

『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、 気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。 独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の 前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。 また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。 【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■局所的なプラズマ加工が可能（Φ0.5mm～） ■低残渣かつ高速加工を実現（10μm/mim） ■低出力のRF電源（最大出力50W未満） ■試料をステージで移動させた広範囲の加工が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

株式会社三友製作所は、医療用分析機器関連製品の製造、電子顕微鏡関連の 付属品の製造、半導体故障解析用ツールの製造を行うモノづくり企業です。 創業以来精密機械加工を中心に事業を展開し、そこで培われた技術が当社の 技術基盤を形作っています。設計、機械加工、組立・調整まで一貫した生産 形態を持つことで、顧客からの短納期要求にも対応できております。 現在は、医療用分析機器関連製品の製造が大半を占めておりますが、近年、 次世代を見据えた技術開発にも取り組んできております。 私共は、お客様のニーズを先取りし、常にチャレンジャーとして、科学の発展、そして、未来創生の為に貢献していきたいと考えております。 【事業内容】 ■電子顕微鏡関連付属品の製造 ■半導体故障解析ツールの製造 ■精密機械加工 ■分析機器関連製品の製造 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置
• 製造受託

Nano Manipulation Stageは、粗微動一体の自社製アクチュエータ【SPPA】採用による、ゼロバックラッシュを実現した小型ステージユニットになります。電子顕微鏡の標準ステージ上へ容易に搭載可能で、試料を観察しながらナノ領域の電気的な特性評価や超微細作業が可能となります！ 【特徴】 ○分解能　１ｎｍ以下 ・位置決め精度の最小分解能が1nm以下を実現しておりますので、 　電子顕微鏡下での超精密作業に申し分ない性能を有しております。 ○幅広いカスタム性・多彩なバリエーション ・電子顕微鏡に本ユニットを複数搭載する事で多軸化を図ることが可能となり、 　様々な用途に対応が可能なユニットとなっております。 　特殊仕様、カスタマイズにも対応致します！！ ○粗微動一体のアクチュエータ【SPPA】採用によるゼロバックラッシュの実現 ・SPPA（Super Precision Piezo Acutuator）とは、一つの圧電素子にて連続 　ステップ動作（粗動）、圧電素子の直接動作（微動）が可能な画期的なアクチュエータです！！

• その他