スパッタ装置 - 企業ランキング(全45社)
更新日: 集計期間:2026年06月10日〜2026年07月07日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
|---|---|---|---|
| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ・PARMS (Plasma Assisted Reactive Magnetron Sputtering)プロセス技術を用い、アーキングのない高レートで安定した製膜を実現。 ・MF(中周波)電源を用い金属酸化膜、窒化膜を製膜。 ・膜厚制御はダイレクトモニターリン... | |||
| ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。 搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220 イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプラスマイナス0.3% の範囲内で... | 高出力レーザーミラー DWDM, CWDM フィルタ、等 | ||
|
---
--- |
--- | --- | |
-
- 代表製品
-
光学薄膜用スパッター装置 HELIOS
- 概要
- 【特徴】 ・PARMS (Plasma Assisted Reactive Magnetron Sputtering)プロセス技術を用い、アーキングのない高レートで安定した製膜を実現。 ・MF(中周波)電源を用い金属酸化膜、窒化膜を製膜。 ・膜厚制御はダイレクトモニターリン...
- 用途/実績例
精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400/1600
- 概要
- ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。 搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220 イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプラスマイナス0.3% の範囲内で...
- 用途/実績例
- 高出力レーザーミラー DWDM, CWDM フィルタ、等
-
すべてを閲覧するには会員登録(無料)が必要です。
すでに会員の方はこちら
ビューラー株式会社