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スパッタ装置 - 企業ランキング(全45社)

更新日: 集計期間:2026年06月10日〜2026年07月07日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【特徴】 ・PARMS (Plasma Assisted Reactive Magnetron Sputtering)プロセス技術を用い、アーキングのない高レートで安定した製膜を実現。 ・MF(中周波)電源を用い金属酸化膜、窒化膜を製膜。 ・膜厚制御はダイレクトモニターリン...   
ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。 搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220 イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプラスマイナス0.3% の範囲内で... 高出力レーザーミラー DWDM, CWDM フィルタ、等
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  1. 代表製品
    光学薄膜用スパッター装置 HELIOS光学薄膜用スパッター装置 HELIOS
    概要
    【特徴】 ・PARMS (Plasma Assisted Reactive Magnetron Sputtering)プロセス技術を用い、アーキングのない高レートで安定した製膜を実現。 ・MF(中周波)電源を用い金属酸化膜、窒化膜を製膜。 ・膜厚制御はダイレクトモニターリン...
    用途/実績例
      
    精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400/1600精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400/1600
    概要
    ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。 搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220 イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプラスマイナス0.3% の範囲内で...
    用途/実績例
    高出力レーザーミラー DWDM, CWDM フィルタ、等