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精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS

最終更新日:2024年12月05日

ビューラー株式会社
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ビューラー・ライボルトオプティクスの真空IBS装置

世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供しています。研究開発用途から大量生産の大型設備まで様々な真空チャンバーサイズを取り揃え、お客様の多様なニーズにお応えいたします。

    その他表面処理装置
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精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400/1600

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  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/buhlergroup/product/

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基本情報

ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。 搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220 イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプラスマイナス0.3% の範囲内で膜厚分布を実現いたします。 詳細はお気軽にお問合せください。

価格帯

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用途/実績例

高出力レーザーミラー DWDM, CWDM フィルタ、等

企業情報

ビューラー株式会社

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食品機械

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ビューラーは、世界の安全な食料供給に貢献し、気候変動に取り組み、自動車や建物、 機械のエネルギー効率を高めるためのソリューションを開発しています。 食品およびモビリティ産業のソリューションパートナーとして、 お客様のバリューチェーンにおける消費エネルギー、廃棄物、水の使用量を2025年までに50%削減する目標をかかげています。 ■ビューラーグループ沿革■ 1860年 創業者アドルフ・ビューラーがウッツヴィル(スイス)に鋳造工場を設立 1872年 穀物の製粉に使用するロールミルに初めて鋳造ロールを採用 2020年 グループ創業160周年を迎える ■ビューラー株式会社沿革■ 1974年 日本法人設立 2007年 地域製品開発研究センター(RADEC)を開設 2017年 RADECを北関東サービスステーション内に移設 ■事業本部■ グレインズ&フード(穀物、食品および飼料向け加工・製造プロセス) コンシューマーフーズ(チョコレート、焼き菓子、コーヒー、ベーカリー製品などの加工・製造プロセス) アドバンストマテリアルズ(湿式粉砕、ダイカスト、光学薄膜製造ソリューション)

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