封止装置 - 企業ランキング(全7社)
更新日： 集計期間:2025年04月02日〜2025年04月29日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【仕様】 ○対応可能ワーク AT 2016, 1612, 1210 / TF 2012, 1610 ○装置構成 3室（仕込室, 処理室, 取出室）インライン式 ○排気系 処理室：10インチ TMP ○仕込室, 取出室：RP + NBP ○加熱系：予備加熱2段, 封止加熱1段, MAX 400℃, 冷却1段 ○リークチェック ：Cl測定法 ○タクト：0.4 sec/pc 以下 ○温度分布：300℃ ±2.5℃ | |||
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株式会社昭和真空
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- 代表製品
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水晶デバイス装置 真空加熱封止装置 「SLS-401T」
- 概要
- 【仕様】 ○対応可能ワーク AT 2016, 1612, 1210 / TF 2012, 1610 ○装置構成 3室（仕込室, 処理室, 取出室）インライン式 ○排気系 処理室：10インチ TMP ○仕込室, 取出室：RP + NBP ○加熱系：予備加熱2段, 封止加熱1段, MAX 400℃, 冷却1段 ○リークチェック ：Cl測定法 ○タクト：0.4 sec/pc 以下 ○温度分布：300℃ ±2.5℃
- 用途/実績例
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株式会社昭和真空
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