効率的なサイクルタイム Cl測定によるリークチェック機能搭載
「SLS-401T」は、SMD水晶振動子を対象としたＡu/Ｓｎ用真空加熱封止装置です。 水晶用関連真空装置は、昭和真空の主力製品の1つです。 ここでいう「水晶」とは、水晶振動子、水晶発振器等、水晶を基板とした、クォーツデバイスと呼ばれている電子部品を指します。 クォーツデバイスは、非常に安定した発振周波数を有し、私たちの生活に関わるあらゆる製品に不可欠なキーデバイスとなっています。その使用用途は多岐にわたり、コンピューター、時計、自動車、携帯電話、家庭用ゲーム機、コードレス電話、CD、デジタルカメラなど、身の回りの電気製品のほとんどに利用されています。 【特徴】 ○SMD 水晶振動子を対象としたＡu/Ｓｎ用真空加熱封止装置 ○取出室にて CI 測定によるリークチェックが可能です（オプション） ○タクトタイム 0.4sec/pcs 以下 ○周波数調整装置への連結も可能（オプション） ○高温封止（450℃）対応も可能（オプション） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○対応可能ワークAT 2016, 1612, 1210 / TF 2012, 1610 ○装置構成3室（仕込室, 処理室, 取出室）インライン式 ○排気系処理室：10インチ TMP ○仕込室, 取出室：RP + NBP ○加熱系：予備加熱2段, 封止加熱1段, MAX 400℃, 冷却1段 ○リークチェック：Cl測定法 ○タクト：0.4 sec/pc 以下 ○温度分布：300℃ ±2.5℃ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。
