樹脂基板への成膜に最適! 大量生産を高次元で実現
光学薄膜用蒸着装置 「SGC-S1700シリーズ」は、Sapio 1300 のテクノロジーを盛り込みつつコストパフォーマンスに磨きをかけたAR コート専用 スタンダードマシンです。 RFイオンソース、光学モニター、反転パレットなど多彩な仕様選択が可能です。 【特徴】 ○量産性能と作業効率を高次元で融合 ○設置スペースは1300クラスのたった2割増 ○製品の取数は2倍以上 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 1.高効率排気システムの採用により、φ1,300蒸着装置と比較し成膜処理時間は+10%程度 2.1バッチあたり基板収納数はφ1,300蒸着装置の2倍以上 3.設置面積の省スペース化、全高を抑えたコンパクト設計 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途/実績例
光学膜 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置(真空装置)を製造販売しております。









