機構 - 企業ランキング(全45社)
更新日： 集計期間:2026年06月10日〜2026年07月07日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| ・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・動作軸：XYZ軸 ・ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ・静電容量センサーによる高いリニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・比類のないスキャニング平坦度 ・高ダイナミックなXYZバー... | 応用例 ・走査型顕微鏡 ・マスク／ウェハー位置決め ・干渉計 ・各種計測 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション | ||
| ・ストローク：XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に～10μm ・静電容量センサーにより分解能～0.1nmを実現 ・直動式の高速バージョン ・真空対応および非磁性バージョン ・パラレル制御によるダイナミクスの向上／多軸の精密制御 ・パラレル計測によるアクティブ軌道制御 ・... | 応用例 ・画像処理／安定化 ・走査型顕微鏡 ・表面形状解析 ・バイオテクノロジー ・半導体試験 ・マスク／ウェハー位置決め ・マイクロマニピュレーション ・高平坦度／直進度のナノポジショニング | ||
| ・1軸および3軸バージョン ・クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現 （オープンループは～240μm/2.4mrad） ・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・PICMA(TM)ピエゾア... | 応用例 ・各種計測 ・干渉計 ・光学 ・走査型顕微鏡 ・マスストレージ装置試験 ・レーザーテクノロジー ・マイクロ機械加工 | ||
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PIジャパン株式会社
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- 代表製品
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XYZピエゾステージ｜大開口でも走査再現性を維持する機構
- 概要
- ・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・動作軸：XYZ軸 ・ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ・静電容量センサーによる高いリニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・比類のないスキャニング平坦度 ・高ダイナミックなXYZバー...
- 用途/実績例
- 応用例 ・走査型顕微鏡 ・マスク／ウェハー位置決め ・干渉計 ・各種計測 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション
XYZナノポジショニング｜多軸動作でも軌道再現性を維持する機構
- 概要
- ・ストローク：XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に～10μm ・静電容量センサーにより分解能～0.1nmを実現 ・直動式の高速バージョン ・真空対応および非磁性バージョン ・パラレル制御によるダイナミクスの向上／多軸の精密制御 ・パラレル計測によるアクティブ軌道制御 ・...
- 用途/実績例
- 応用例 ・画像処理／安定化 ・走査型顕微鏡 ・表面形状解析 ・バイオテクノロジー ・半導体試験 ・マスク／ウェハー位置決め ・マイクロマニピュレーション ・高平坦度／直進度のナノポジショニング
Tip/Tiltピエゾステージ｜高さと角度ズレを同時補正する機構
- 概要
- ・1軸および3軸バージョン ・クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現 （オープンループは～240μm/2.4mrad） ・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・PICMA(TM)ピエゾア...
- 用途/実績例
- 応用例 ・各種計測 ・干渉計 ・光学 ・走査型顕微鏡 ・マスストレージ装置試験 ・レーザーテクノロジー ・マイクロ機械加工
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PIジャパン株式会社
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