コーティング装置 - 企業ランキング(全37社)
更新日： 集計期間:2025年07月09日〜2025年08月05日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 立体毛状基板（機械部品・治工具・金型）対応の従来型硬質膜用ＡＤＭＳ装置にＡｌＮ膜用カソードとプロセスソフト装備可能 ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。 高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナップ。 | 半導体製造装置部品・静電チャック セラミック表面処理 ヒートシンク 絶縁基板 治工具 金型等 | ||
| ＰＩＧ式ＤＬＣ膜コーティング装置の基本構成本体にアーク放電型マグネトロンスパッタリングカソードを2元追加。硬質の窒化膜・酸窒化膜を積層可能。さらにナノレベルでスムースなＤＬＣの下地や他の硬質膜との積層で新しい機能硬質膜を実現。 硬質膜と個体潤滑膜のそれぞれの目的でも充分活用可能 新機能＋多用途対応の硬質膜コーティング装置 | 自動車部品コーティング 金型・刃物コーティング | ||
| 電子銃による個体シリコンの蒸着を基本としたイオンプレーティング装置。 高密度のプラズマを形成できるシンプルなイオン化機構によりシリコン上記と反応ガスとのリアクティブプロセスを実現。 基板の形状や成膜の目的に合わせて基板設置方法や治具も専用設計。 立体形状基板の全面成膜やマスク成膜も可能。 クリーンで操作容易な全自動イオンプレーティング装置。 | 精密金型コーティング。 レンズ金型コーティング 半導体用治具コーティング 半導体製造装置部品コーティング 治工具コーティング | ||
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神港精機株式会社 東京支店
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- 代表製品
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ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）
- 概要
- 立体毛状基板（機械部品・治工具・金型）対応の従来型硬質膜用ＡＤＭＳ装置にＡｌＮ膜用カソードとプロセスソフト装備可能 ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。 高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナップ。
- 用途/実績例
- 半導体製造装置部品・静電チャック セラミック表面処理 ヒートシンク 絶縁基板 治工具 金型等
ハイブリッド硬質膜コーティング装置（ＤＬＣーＣＶＤ＋ＰＶＤ装置）
- 概要
- ＰＩＧ式ＤＬＣ膜コーティング装置の基本構成本体にアーク放電型マグネトロンスパッタリングカソードを2元追加。硬質の窒化膜・酸窒化膜を積層可能。さらにナノレベルでスムースなＤＬＣの下地や他の硬質膜との積層で新しい機能硬質膜を実現。 硬質膜と個体潤滑膜のそれぞれの目的でも充分活用可能 新機能＋多用途対応の硬質膜コーティング装置
- 用途/実績例
- 自動車部品コーティング 金型・刃物コーティング
ＳｉＣコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）
- 概要
- 電子銃による個体シリコンの蒸着を基本としたイオンプレーティング装置。 高密度のプラズマを形成できるシンプルなイオン化機構によりシリコン上記と反応ガスとのリアクティブプロセスを実現。 基板の形状や成膜の目的に合わせて基板設置方法や治具も専用設計。 立体形状基板の全面成膜やマスク成膜も可能。 クリーンで操作容易な全自動イオンプレーティング装置。
- 用途/実績例
- 精密金型コーティング。 レンズ金型コーティング 半導体用治具コーティング 半導体製造装置部品コーティング 治工具コーティング
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神港精機株式会社 東京支店
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