イオン源 - 企業ランキング(全8社)

更新日：2026年03月25日集計期間:2026年02月25日〜2026年03月24日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
ノベリオンシステムズ株式会社	所在地京都府事業内容 ■プラズマ応用装置の開発と製造販売　・ECRラインビームイオン源（ELBSシリーズ）　・モジュール型ECRプラズマ源（EPSシリーズ）　・ミリング用低エネルギー大電流イオン源　・内径スパッタコーティング装置　・各種プラズマ応用装置の開発受託と技術コンサルティン... 主要取引先	ECRラインビームイオン源『ELBS-150』応相談	【装置仕様】 ■ビームサイズ：幅150mm ■ビームエネルギー：100～2,000eV ■ビーム電流密度：最大10mA/cm2 ■接続同軸コネクタ規格：DIN 7/16 ■適合マイクロ波周波数：2.45GHz ■許容マイクロ波電力：最大500W ■冷却方式：水冷 ...	【応用例】 ■MEMS構造体の高速ミリング形成 ■磁気ヘッドのミリング加工 ■高周波回路のトリミング調整　など
		ノベリオンシステムズ株式会社　事業紹介応相談	【取扱製品】 ■高出力ECRプラズマ源（EPS-120） ■小型ECR原子ビーム源（ERS-35） ■ミリング装置用アンペア級イオン源 ■EDRラインビームイオン源（ELBS-150）
		大電流DC放電型ラインビームイオン源『LBS-120HC』応相談	【ラインアップ】 ■LBS-120HC ■SPS-HC2	【応用例】 ■MEMS構造体の高速ミリング加工 ■磁気メモリの微細ミリング加工 ■高周波素子の共鳴周波数調整
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ノベリオンシステムズ株式会社

所在地

京都府

事業内容

■プラズマ応用装置の開発と製造販売　・ECRラインビームイオン源（ELBSシリーズ）　・モジュール型ECRプラズマ源（EPSシリーズ）　・ミリング用低エネルギー大電流イオン源　・内径スパッタコーティング装置　・各種プラズマ応用装置の開発受託と技術コンサルティン...

主要取引先

代表製品

ECRラインビームイオン源『ELBS-150』

概要

【装置仕様】 ■ビームサイズ：幅150mm ■ビームエネルギー：100～2,000eV ■ビーム電流密度：最大10mA/cm2 ■接続同軸コネクタ規格：DIN 7/16 ■適合マイクロ波周波数：2.45GHz ■許容マイクロ波電力：最大500W ■冷却方式：水冷 ...

用途/実績例

【応用例】 ■MEMS構造体の高速ミリング形成 ■磁気ヘッドのミリング加工 ■高周波回路のトリミング調整　など

ノベリオンシステムズ株式会社　事業紹介

概要

【取扱製品】 ■高出力ECRプラズマ源（EPS-120） ■小型ECR原子ビーム源（ERS-35） ■ミリング装置用アンペア級イオン源 ■EDRラインビームイオン源（ELBS-150）

用途/実績例

大電流DC放電型ラインビームイオン源『LBS-120HC』

概要

【ラインアップ】 ■LBS-120HC ■SPS-HC2

用途/実績例

【応用例】 ■MEMS構造体の高速ミリング加工 ■磁気メモリの微細ミリング加工 ■高周波素子の共鳴周波数調整
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所在地

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事業内容

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