コンポーネント - 企業ランキング(全45社)
更新日： 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○電子銃 →超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型 →ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまで ○電子銃電源及びアクセサリー →3kWから20kWまで計10機種の豊富な品揃え →スイープ電源を標準装備 ○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー →蒸着コントローラ Model 880 標準で2センサーの同時計測が可能、8センサーまで拡張可能 →膜厚/レートモニタ Model 855 制御機能はないがレートの監視、膜厚監視用途には経済的 ○クライオトラップ TVPシリーズ →クールダウンが早くサイクルタイムを短縮できる →小さいフットプリント、速いデフロストが可能 ○イオンソースシステム →SaintechシリーズIII イオンソース 軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい 高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く(70～80℃)基板への 熱ダメージが少なく、熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリー | |||
チタン合金製真空コンポーネント
応相談 |
■弊社チタンチャンバーはステンレスの1/100から1/1000の低いガス放出特性を有しています。 ■超高真空への排気が簡単に素早く行えます。10-8EPaの超高真空へわずか10時間で到達します。ベーキングも150℃、6時間で十分です。 ■チタンの密度はステンレスの約半分です。真空システムの重量の大幅低減が可能です。 ■新開発のチタン合金は、純チタンにはない強度を有し、ステンレスに比べて1.7倍の強度を持っています。これによりCFフランジの厚さが約30％薄くなり（比重が軽いので）、ステンレスの半分以下の重量となります。 さらに、このチタン合金は純チタンでは不可能であったステンレス以上の高い硬度を有しますので、CFフランジのナイフエッジの加工が可能です。 ■熱膨張係数がステンレスの1/2、アルミの1/3であり、温度変化による狂いを嫌う精密な機械部品への応用に適しています。 ■同一の体積で比較すると熱容量がステンレスの約半分と小さいので、ベーキング開始より短時間で温度が上がり、また冷却も早いのでベーキングの時間短縮、効率化が可能です。 ■完全に非磁性なので分析装置や強磁場内での用途に向いています。 | 真空装置、分析装置等 | |
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VISTA株式会社
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- 代表製品
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成膜関連製品 TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント
- 概要
- 【特徴】 ○電子銃 →超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型 →ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまで ○電子銃電源及びアクセサリー →3kWから20kWまで計10機種の豊富な品揃え →スイープ電源を標準装備 ○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー →蒸着コントローラ Model 880 標準で2センサーの同時計測が可能、8センサーまで拡張可能 →膜厚/レートモニタ Model 855 制御機能はないがレートの監視、膜厚監視用途には経済的 ○クライオトラップ TVPシリーズ →クールダウンが早くサイクルタイムを短縮できる →小さいフットプリント、速いデフロストが可能 ○イオンソースシステム →SaintechシリーズIII イオンソース 軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい 高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く(70～80℃)基板への 熱ダメージが少なく、熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリー
- 用途/実績例
チタン合金製真空コンポーネント
- 概要
- ■弊社チタンチャンバーはステンレスの1/100から1/1000の低いガス放出特性を有しています。 ■超高真空への排気が簡単に素早く行えます。10-8EPaの超高真空へわずか10時間で到達します。ベーキングも150℃、6時間で十分です。 ■チタンの密度はステンレスの約半分です。真空システムの重量の大幅低減が可能です。 ■新開発のチタン合金は、純チタンにはない強度を有し、ステンレスに比べて1.7倍の強度を持っています。これによりCFフランジの厚さが約30％薄くなり（比重が軽いので）、ステンレスの半分以下の重量となります。 さらに、このチタン合金は純チタンでは不可能であったステンレス以上の高い硬度を有しますので、CFフランジのナイフエッジの加工が可能です。 ■熱膨張係数がステンレスの1/2、アルミの1/3であり、温度変化による狂いを嫌う精密な機械部品への応用に適しています。 ■同一の体積で比較すると熱容量がステンレスの約半分と小さいので、ベーキング開始より短時間で温度が上がり、また冷却も早いのでベーキングの時間短縮、効率化が可能です。 ■完全に非磁性なので分析装置や強磁場内での用途に向いています。
- 用途/実績例
- 真空装置、分析装置等
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VISTA株式会社
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