コーティング装置 - 企業ランキング(全45社)
更新日： 集計期間:2026年04月15日〜2026年05月12日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
|---|---|---|---|
| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜（窒化膜・酸化膜・炭化膜）を形成。 成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供 充実の成膜プロセス ・耐プラズマ性イットリア膜（１... | イットリアコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・耐熱性部品表面処理 ＳｉＣコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・精密金型 ・耐酸化性表面処理 | ||
| 電子銃による個体シリコンの蒸着を基本としたイオンプレーティング装置。 高密度のプラズマを形成できるシンプルなイオン化機構によりシリコン上記と反応ガスとのリアクティブプロセスを実現。 基板の形状や成膜の目的に合わせて基板設置方法や治具も専用設計。 立体形状基板の全面成膜やマス... | 精密金型コーティング。 レンズ金型コーティング 半導体用治具コーティング 半導体製造装置部品コーティング 治工具コーティング | ||
| 立体毛状基板（機械部品・治工具・金型）対応の従来型硬質膜用ＡＤＭＳ装置にＡｌＮ膜用カソードとプロセスソフト装備可能 ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。 高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナップ。 | 半導体製造装置部品・静電チャック セラミック表面処理 ヒートシンク 絶縁基板 治工具 金型等 | ||
|
---
--- |
--- | --- | |
神港精機株式会社 東京支店
-
- 代表製品
-
イットリアコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）
- 概要
- 電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜（窒化膜・酸化膜・炭化膜）を形成。 成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供 充実の成膜プロセス ・耐プラズマ性イットリア膜（１...
- 用途/実績例
- イットリアコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・耐熱性部品表面処理 ＳｉＣコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・精密金型 ・耐酸化性表面処理
ＳｉＣコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）
- 概要
- 電子銃による個体シリコンの蒸着を基本としたイオンプレーティング装置。 高密度のプラズマを形成できるシンプルなイオン化機構によりシリコン上記と反応ガスとのリアクティブプロセスを実現。 基板の形状や成膜の目的に合わせて基板設置方法や治具も専用設計。 立体形状基板の全面成膜やマス...
- 用途/実績例
- 精密金型コーティング。 レンズ金型コーティング 半導体用治具コーティング 半導体製造装置部品コーティング 治工具コーティング
ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）
- 概要
- 立体毛状基板（機械部品・治工具・金型）対応の従来型硬質膜用ＡＤＭＳ装置にＡｌＮ膜用カソードとプロセスソフト装備可能 ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。 高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナップ。
- 用途/実績例
- 半導体製造装置部品・静電チャック セラミック表面処理 ヒートシンク 絶縁基板 治工具 金型等
-
神港精機株式会社 東京支店
すべてを閲覧するには会員登録（無料）が必要です。
すでに会員の方はこちら
