セラミック製品 - 企業ランキング(全8社)
更新日： 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○Zero thermal expansion type ESC ・高精度 平面度＜100nm(8インチ) ・ポアフリー化対応 ・高比剛性 ・非磁性 ○Built in Heater type ESC ・ジョンセン・ラーベック型 ・8・12インチ対応 ・電極パターン 単極、双極選択可 ・面状発熱体内蔵により優れた面内温度均一性 ○Spray coat type ESC ・低インピーダンス 高熱伝達（熱通過）モジュールの実現 ・MMC基材による大型化の実現 溶射膜との熱膨張マッチングにより、信頼性の高い静電チャックが製作可 | ・プラズマ環境用ヒーター内蔵型静電チャック ・電子ビーム環境用非磁性型静電チャック ・大型特殊ガラス基板用セラミックスコーティング静電チャック | ||
| 【特徴】 ○低熱膨張 ○高剛性 ○非磁性 ○再結晶化ガラスに代わり、ナノレベルの制御が求められる半導体製造装置（ウエハ露光、レチクル描画等）に対応 | ・各種レーザー干渉用反射ミラー ・静電チャック ・ＸＹステージ構成テーブル | ||
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株式会社NTKセラテック
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- 代表製品
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セラミック製品 ＥＳＣ（静電チャック）
- 概要
- 【特徴】 ○Zero thermal expansion type ESC ・高精度 平面度＜100nm(8インチ) ・ポアフリー化対応 ・高比剛性 ・非磁性 ○Built in Heater type ESC ・ジョンセン・ラーベック型 ・8・12インチ対応 ・電極パターン 単極、双極選択可 ・面状発熱体内蔵により優れた面内温度均一性 ○Spray coat type ESC ・低インピーダンス 高熱伝達（熱通過）モジュールの実現 ・MMC基材による大型化の実現 溶射膜との熱膨張マッチングにより、信頼性の高い静電チャックが製作可
- 用途/実績例
- ・プラズマ環境用ヒーター内蔵型静電チャック ・電子ビーム環境用非磁性型静電チャック ・大型特殊ガラス基板用セラミックスコーティング静電チャック
セラミック製品 ＺＰＦ（ゼロ膨張セラミックス）
- 概要
- 【特徴】 ○低熱膨張 ○高剛性 ○非磁性 ○再結晶化ガラスに代わり、ナノレベルの制御が求められる半導体製造装置（ウエハ露光、レチクル描画等）に対応
- 用途/実績例
- ・各種レーザー干渉用反射ミラー ・静電チャック ・ＸＹステージ構成テーブル
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株式会社NTKセラテック
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