材料を創設し、いつの日かを創造する
各種材料技術を駆使し、ユーザーニーズに対応できる静電チャックをラインナップしています。 プラズマ環境領域、電子線使用領域、極低膨張仕様等用途に応じた製品を開発・試作段階から提供いたします。
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基本情報
【特徴】 ○Zero thermal expansion type ESC ・高精度 平面度＜100nm(8インチ) ・ポアフリー化対応 ・高比剛性 ・非磁性 ○Built in Heater type ESC ・ジョンセン・ラーベック型 ・8・12インチ対応 ・電極パターン 単極、双極選択可 ・面状発熱体内蔵により優れた面内温度均一性 ○Spray coat type ESC ・低インピーダンス 高熱伝達（熱通過）モジュールの実現 ・MMC基材による大型化の実現 溶射膜との熱膨張マッチングにより、信頼性の高い静電チャックが製作可 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
・プラズマ環境用ヒーター内蔵型静電チャック ・電子ビーム環境用非磁性型静電チャック ・大型特殊ガラス基板用セラミックスコーティング静電チャック
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企業情報
NTKセラテックはセラミックスを軸にビジネスを展開するメーカーです。 「セラミックスで創造と挑戦を楽しむ」をスローガンとして掲げ、 ユーザーお一人お一人のニーズに耳を傾け、 その問題解決に邁進し、 お役に立ちたいと考えています。 半導体・液晶製造、電子機器をはじめとする 時代の最先端分野において、 エンジニアリング・エレクトロニクスセラミックスによる トータルソリューションを追求し、 常に革新的技術／材料を開発、提供します。 当社は良き企業市民として、お客様、地域社会、当社に関わる全ての皆様に愛される企業を目指して、社会に貢献します。
