プロセス装置 - 企業ランキング(全10社)
更新日: 集計期間:2026年04月08日〜2026年05月05日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【主な仕様例】 ■カセットステージ:1組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6"、□4インチも可 ■レジスト滴下ノズル:1組 ■バック・エッジリンス:1組/塗布CUP ■現像ノズル:1組 ■リンスノズル:1組 ■ベ... | |||
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- 代表製品
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自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)
- 概要
- 【主な仕様例】 ■カセットステージ:1組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6"、□4インチも可 ■レジスト滴下ノズル:1組 ■バック・エッジリンス:1組/塗布CUP ■現像ノズル:1組 ■リンスノズル:1組 ■ベ...
- 用途/実績例
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