ミリング装置 - 企業ランキング(全8社)

更新日：2025年09月17日集計期間:2025年08月20日〜2025年09月16日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
株式会社日立ハイテク	所在地東京都事業内容半導体製造装置、FPD・ハードディスク関連製造装置、汎用分析機器、解析装置、医用分析装置の製造・販売・サービス、および産業・ITシステム、工業材料、電子デバイス・材料などの販売主要取引先	枚葉式イオンビームミリング装置『IMLシリーズ』応相談	【ラインアップ】 ■IML-5-1 ■IML-6-1 ■IML-8-1 ■IML-8-2	【用途】 ■MEMSの電極微細加工、高周波フィルターや化合物半導体の配線・電極加工、　磁気ヘッド・磁気センサーなどの微細パターン／形状加工など
		イオンミリング装置応相談	【その他の特長】＜R＆D用小型ミリング装置＞ ■実験開発向けに特化したスタンドアローン型装置 ■電装系、電源類等を1台に納めたコンパクト設計 ■φ75、φ100、φ125mmウェハまで対応 ■基板冷却、基板電位中和機能、基板自転、ステージ傾斜付き
		小型イオンビームミリング装置『IMシリーズ』応相談	【ラインアップ】 ■IM-150 ■IM-200 ■IM-250	【用途】 ■エレクトロニクスデバイス、MEMS製造用、微細加工研究、開発、試作、小量産用途など ■小型立体個体物へのイオン照射など
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株式会社日立ハイテク

所在地

東京都

事業内容

半導体製造装置、FPD・ハードディスク関連製造装置、汎用分析機器、解析装置、医用分析装置の製造・販売・サービス、および産業・ITシステム、工業材料、電子デバイス・材料などの販売

主要取引先

代表製品

枚葉式イオンビームミリング装置『IMLシリーズ』

概要

【ラインアップ】 ■IML-5-1 ■IML-6-1 ■IML-8-1 ■IML-8-2

用途/実績例

【用途】 ■MEMSの電極微細加工、高周波フィルターや化合物半導体の配線・電極加工、　磁気ヘッド・磁気センサーなどの微細パターン／形状加工など

イオンミリング装置

概要

【その他の特長】＜R＆D用小型ミリング装置＞ ■実験開発向けに特化したスタンドアローン型装置 ■電装系、電源類等を1台に納めたコンパクト設計 ■φ75、φ100、φ125mmウェハまで対応 ■基板冷却、基板電位中和機能、基板自転、ステージ傾斜付き

用途/実績例

小型イオンビームミリング装置『IMシリーズ』

概要

【ラインアップ】 ■IM-150 ■IM-200 ■IM-250

用途/実績例

【用途】 ■エレクトロニクスデバイス、MEMS製造用、微細加工研究、開発、試作、小量産用途など ■小型立体個体物へのイオン照射など
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所在地

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事業内容

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