洗浄ユニット - 企業ランキング(全20社)
更新日: 集計期間:2026年05月27日〜2026年06月23日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
洗浄ユニット『ファインジェット』
応相談 |
【その他の特長】 ■海外の電圧に標準で対応(PT-010J50) ■各種規格対応(FCC,CE,RoHS) | 【用途】 ■各種ウエハー基板洗浄(シリコン、ポリシリコン、化合物半導体、石英ガラス) ■各種フォトマスク ■磁気ディスク ■ウエハーのCMP後洗浄 | |
| 【その他の特長】 ■空振り防止機能保有する液供給が可能 ■基板への振り切り動作も可能で基板全体への再現性の高い洗浄を実現 | 【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄 | ||
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- 代表製品
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洗浄ユニット『ファインジェット』
- 概要
- 【その他の特長】 ■海外の電圧に標準で対応(PT-010J50) ■各種規格対応(FCC,CE,RoHS)
- 用途/実績例
- 【用途】 ■各種ウエハー基板洗浄(シリコン、ポリシリコン、化合物半導体、石英ガラス) ■各種フォトマスク ■磁気ディスク ■ウエハーのCMP後洗浄
洗浄ユニット『近接型メガソニック PA10-Q60AE-S』
- 概要
- 【その他の特長】 ■空振り防止機能保有する液供給が可能 ■基板への振り切り動作も可能で基板全体への再現性の高い洗浄を実現
- 用途/実績例
- 【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄
角基板・フォトマスク向けスピン洗浄ユニット
- 概要
- 用途/実績例
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株式会社プレテック 静岡製作所