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洗浄ユニット - 企業ランキング(全20社)

更新日: 集計期間:2026年09月09日〜2026年10月06日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【スイープソニック 特長】 ■超音波による定在波の波長を連続的に変化させ超音波エネルギーの強弱を完全にクリアー ■高洗浄度が要求され、ダメージも与えられないSi、GaAs、フォトマスク基板、  磁気ディスク等の洗浄に好適
【特長】 ・ノズル材質は石英のため低発塵で薬液に耐久性がある ・ノズル先端より1.0MHzまたは3.0MHzの音波を照射 ・低出力領域からリニアリティーの高い発振を可能としている ・基板直近での洗浄するため、サブミクロンのパーティクルが除去できる ・空振り防止機能保有する液供給が... 【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄
【特長】 ・1.0MHzまたは3.0MHzの高周波音波を基板へ直接照射 ・独自の液供給システム ・高純度石英製で、低発塵かつ耐薬品性に優れる ・基板直上照射方式 ・空振り防止機能保有する液供給が可能 ・多様な発振モードを搭載し、基板プロセスに適応した調整が可能 【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄
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  1. 代表製品
    ウルトラソニック洗浄ユニットウルトラソニック洗浄ユニット
    概要
    【スイープソニック 特長】 ■超音波による定在波の波長を連続的に変化させ超音波エネルギーの強弱を完全にクリアー ■高洗浄度が要求され、ダメージも与えられないSi、GaAs、フォトマスク基板、  磁気ディスク等の洗浄に好適
    用途/実績例
    【フォトマスク向け】近接型メガソニック PA10-Q60AE-S【フォトマスク向け】近接型メガソニック PA10-Q60AE-S
    概要
    【特長】 ・ノズル材質は石英のため低発塵で薬液に耐久性がある ・ノズル先端より1.0MHzまたは3.0MHzの音波を照射 ・低出力領域からリニアリティーの高い発振を可能としている ・基板直近での洗浄するため、サブミクロンのパーティクルが除去できる ・空振り防止機能保有する液供給が...
    用途/実績例
    【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄
    半導体ウェハー向け洗浄ユニット『PA10-Q60AE-S』半導体ウェハー向け洗浄ユニット『PA10-Q60AE-S』
    概要
    【特長】 ・1.0MHzまたは3.0MHzの高周波音波を基板へ直接照射 ・独自の液供給システム ・高純度石英製で、低発塵かつ耐薬品性に優れる ・基板直上照射方式 ・空振り防止機能保有する液供給が可能 ・多様な発振モードを搭載し、基板プロセスに適応した調整が可能
    用途/実績例
    【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄