洗浄ユニット - 企業ランキング(全20社)
更新日: 集計期間:2026年09月09日〜2026年10月06日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
ウルトラソニック洗浄ユニット
応相談 |
【スイープソニック 特長】 ■超音波による定在波の波長を連続的に変化させ超音波エネルギーの強弱を完全にクリアー ■高洗浄度が要求され、ダメージも与えられないSi、GaAs、フォトマスク基板、 磁気ディスク等の洗浄に好適 | ||
| 【特長】 ・ノズル材質は石英のため低発塵で薬液に耐久性がある ・ノズル先端より1.0MHzまたは3.0MHzの音波を照射 ・低出力領域からリニアリティーの高い発振を可能としている ・基板直近での洗浄するため、サブミクロンのパーティクルが除去できる ・空振り防止機能保有する液供給が... | 【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄 | ||
| 【特長】 ・1.0MHzまたは3.0MHzの高周波音波を基板へ直接照射 ・独自の液供給システム ・高純度石英製で、低発塵かつ耐薬品性に優れる ・基板直上照射方式 ・空振り防止機能保有する液供給が可能 ・多様な発振モードを搭載し、基板プロセスに適応した調整が可能 | 【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄 | ||
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- 代表製品
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ウルトラソニック洗浄ユニット
- 概要
- 【スイープソニック 特長】 ■超音波による定在波の波長を連続的に変化させ超音波エネルギーの強弱を完全にクリアー ■高洗浄度が要求され、ダメージも与えられないSi、GaAs、フォトマスク基板、 磁気ディスク等の洗浄に好適
- 用途/実績例
【フォトマスク向け】近接型メガソニック PA10-Q60AE-S
- 概要
- 【特長】 ・ノズル材質は石英のため低発塵で薬液に耐久性がある ・ノズル先端より1.0MHzまたは3.0MHzの音波を照射 ・低出力領域からリニアリティーの高い発振を可能としている ・基板直近での洗浄するため、サブミクロンのパーティクルが除去できる ・空振り防止機能保有する液供給が...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄
半導体ウェハー向け洗浄ユニット『PA10-Q60AE-S』
- 概要
- 【特長】 ・1.0MHzまたは3.0MHzの高周波音波を基板へ直接照射 ・独自の液供給システム ・高純度石英製で、低発塵かつ耐薬品性に優れる ・基板直上照射方式 ・空振り防止機能保有する液供給が可能 ・多様な発振モードを搭載し、基板プロセスに適応した調整が可能
- 用途/実績例
- 【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄
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株式会社プレテック 静岡製作所