銃 - Company Ranking(8 companies in total)
Last Updated: Aggregation Period:2026年09月16日〜2026年10月13日
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Display Company Information
| Company Name | Featured Products | ||
|---|---|---|---|
| Product Image, Product Name, Price Range | overview | Application/Performance example | |
コールドカソードイオン銃
100万円 ~ 500万円 |
イオン化方式 コールドカソード式 イオンエネルギー 1keV~5keV イオンカレント 3μA~38μA/Ar+/WD=150mm ビーム径 φ15mm 動作真空度 5.0x10-4Pa~2.0x10-3Pa ... | サンプルクリーニング 照射試験 イオンビームスパッタ 半導体露光装置用EUVミラーの微小領域精密除去加工に使われたイオン銃の技術をこの製品にフィードバックしています。 | |
電磁石型コールドカソードイオン銃『OMI-0015CKE』
100万円 ~ 500万円 |
【その他特長】 ■放電電極に対スパッタ性のレアメタルを採用 ■Ar、He等の不活性ガスはもちろん、水素、酸素、窒素、メタン、ブタン等のガスを イオンビームにできる | ||
イオン銃『OMI-0850 series』
100万円 ~ 500万円 |
【仕様(グリッドの設計より特注対応する為、以下は参考値)】 ■ビームエネルギー:100eV~1500eV ■ビーム電流:~15mA(1200eV) ■ビーム径:φ24mm(FWHM) ■最大電流密度:2.5mA/cm2 | 【用途】 ■イオンビームスパッタ ■イオンビームフィギュアリング | |
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- Featured Products
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コールドカソードイオン銃
- overview
- イオン化方式 コールドカソード式 イオンエネルギー 1keV~5keV イオンカレント 3μA~38μA/Ar+/WD=150mm ビーム径 φ15mm 動作真空度 5.0x10-4Pa~2.0x10-3Pa ...
- Application/Performance example
- サンプルクリーニング 照射試験 イオンビームスパッタ 半導体露光装置用EUVミラーの微小領域精密除去加工に使われたイオン銃の技術をこの製品にフィードバックしています。
電磁石型コールドカソードイオン銃『OMI-0015CKE』
- overview
- 【その他特長】 ■放電電極に対スパッタ性のレアメタルを採用 ■Ar、He等の不活性ガスはもちろん、水素、酸素、窒素、メタン、ブタン等のガスを イオンビームにできる
- Application/Performance example
イオン銃『OMI-0850 series』
- overview
- 【仕様(グリッドの設計より特注対応する為、以下は参考値)】 ■ビームエネルギー:100eV~1500eV ■ビーム電流:~15mA(1200eV) ■ビーム径:φ24mm(FWHM) ■最大電流密度:2.5mA/cm2
- Application/Performance example
- 【用途】 ■イオンビームスパッタ ■イオンビームフィギュアリング
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株式会社オメガトロン