高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能
当製品は、超高真空において使用可能なビームエネルギー10eVから3000eVの 減速型コールドカソードイオン銃です。 効率よくイオンを引き出し、高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の 低速イオンビームを照射可能です。 フィラメントがない構造は反応性ガスを使用可能となっており、長寿命の 為メンテナンスサイクルを短くすることが可能。整備性に優れた新設計 ディスチャージチャンバーを採用しております。 また高効率差動排気設計によりメインチャンバーを超高真空度に保ちます。 【特長】 ■減速型コールドカソードイオン銃 ■高電流密度の低速イオンビームを照射可能 ■フィラメントがない構造は反応性ガスを使用できる ■長寿命の為メンテナンスサイクルを短くすることが可能 ■整備性に優れた新設計ディスチャージチャンバーを採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■ビームエネルギー：10eV～3000eV ■ビーム電流：20nA～1.9μA ■ビーム径（半値幅）：φ0.15 mm～φ5mm ■最大平均電流密度：6.94mA/cm2 ■最低動作圧力：5.5×10^-6Pa 以下 ＊メインチャンバーのベース圧：1.87×10^-6Pa ノンベークにて ＊差動排気1か所にTMP50L/s1台で引いた場合 ■差動排気ポート：ICF70 ■イオン化ガス：Ar、He、窒素、酸素、水素、 (SiF4、HC等反応性ガスの場合ご相談ください） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■イオンビームスパッタ ■表面ソフトランディング（酸素等） ■低エネルギークリーニング ■絶縁物クリーニング ■燃料電池（窒素ドープ等） ■低速イオン散乱分光（He） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
弊社の営業方針は次の３本柱より成り立ちます。 ・高度で独自性のある基礎研究のお手伝いを通じ、研究者の方々 の“夢”と“思い”の具現化に貢献する事。 ・弊社の得意中の得意でもある高性能電子銃、高性能イオン銃等を主体とする、高性能真空実験装置をお客様のニーズに沿った最適なものに仕上げ、供給及びメンテナンスを施し、研究開発に貢献する事。 ・これらの基礎技術を応用し、オメガトロンのオリジナル商品を開発し、広範囲な産業界及び研究開発業界に貢献する事。
