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高電流密度イオンビーム型イオン銃

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981-2043:3keVイオン銃セット 981-2043-1:ガス導入型3keVイオン銃セット

最終更新日:2023年05月16日

有限会社テク 東京事務所
有限会社テク 東京事務所
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EUROVAC社製VARIAN型廉価版3keVイオン銃

EUROVAC社(スウェーデン国)は、30年以上前に設立され、ミュンヘンのパーキンエルマー社PHI部門出身の物理学者たちによって運営されています。実用的、技術的、基礎的な研究課題の解決に向け、お客様をサポートする体制を整えています。1998年にEUROVAC社は、バリアン表面科学部門(米国/パロアルト)を買収し、イオン銃、電子銃、LEED、RHEED、CMAの製造をスウェーデンのストックホルムに移管し、製品、スペアパーツ、サービスサポート等を提供する製造メーカーとして信頼性の高い非常に優れた機器を低価格でご提供しております。 【特⾧】  ■ 高電流密度イオンビーム:サンプル表面のスパッタ洗浄及び薄膜構造の迅速で正確な深さプロファイリングに最適です。  ■ スイッチャブルデュアルフィラメント:真空サイクル中でフィラメントがバーンアウトした場合、作業の進行を妨げることなく継続的な操作を可能にする切換式デュアルフィラメント構造になっています。

    真空機器スパッタリング装置プラズマ表面処理装置
varian1.gif

高電流密度イオンビーム型イオン銃

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基本情報

【仕様】  ■ イオンビームエネルギー:0–3keV  ■ イオン電流密度:>300μA/cm2  ■ 高スパッタリングレート:200Å/min  ■ ビーム径:2.5mm  ■ リモートコントロール機能:ビーム電圧のオンオフ  ■ イオンビームスキャニング機能:  ■ DC偏向機能:  ■ 自動出ガス機能:  ■ 取付フランジ:ICF70  ■ 許容加熱温度:250℃

価格帯

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※2.0 - 2.5週間

用途/実績例

■高電流密度イオンビームを発生するため、サンプル表面のスパッタ洗浄及び薄膜構造の迅速で正確な深さプロファイリングに最適です。

企業情報

有限会社テク

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理化学機器、電子機器、分析機器、超高真空機器及び関連部品の輸出入、設計、製造及び販売で信頼と実績を積み上げてきました。 これからもお客様や市場のニーズにお応えした新製品の紹介や販売に注力して、皆様のお役に立てるよう世界の最先端情報をご提供することを心がけていきます。

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