露光装置 - 企業ランキング(全34社)
更新日: 集計期間:2025年11月05日〜2025年12月02日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【その他の仕様】 ■露光光源:照度分布±5%以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクトL/S 3μm ・ハードコンタクトL/S 1μm ■アライメント精度 ・Top-side ±2μm ・Bottom-side ±5μm | |||
| 【仕様】 ■露光光源:照度分布±5%以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクトL/S 3μm ・ハードコンタクトL/S 1μm ■アライメント精度 ・Top-side ±1μm ・Bottom-side ±3μm | 【用途】 ■量産工程用 | ||
| 【取り扱い製品】 ★手動型 露光装置 ・コンパクトな微細片面露光のスタンダード機 LAシリーズ ・両面プロセスのローコストアシストモデル BAシリーズ ・両面同時露光のマスクアライナー BSシリーズ ★半自動型 露光装置 ・セミオートマスクアライナー ★全自... | |||
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- 代表製品
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半自動露光装置『半自動マスクアライナー』
- 概要
- 【その他の仕様】 ■露光光源:照度分布±5%以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクトL/S 3μm ・ハードコンタクトL/S 1μm ■アライメント精度 ・Top-side ±2μm ・Bottom-side ±5μm
- 用途/実績例
量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』
- 概要
- 【仕様】 ■露光光源:照度分布±5%以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクトL/S 3μm ・ハードコンタクトL/S 1μm ■アライメント精度 ・Top-side ±1μm ・Bottom-side ±3μm
- 用途/実績例
- 【用途】 ■量産工程用
露光装置 ※MEMS等両面デバイス開発・製造を支援!
- 概要
- 【取り扱い製品】 ★手動型 露光装置 ・コンパクトな微細片面露光のスタンダード機 LAシリーズ ・両面プロセスのローコストアシストモデル BAシリーズ ・両面同時露光のマスクアライナー BSシリーズ ★半自動型 露光装置 ・セミオートマスクアライナー ★全自...
- 用途/実績例
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株式会社三明