露光装置 - 企業ランキング(全27社)
更新日: 集計期間:2025年04月02日〜2025年04月29日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
・装置:露光機、投影露光機、ステッパー ・用途:半導体後工程用、RFフィルター用、パワー半導体用、電子部品用、パッケージ用、研究用 ・対応基板:ウエハ(特殊ウエハ含む)各種サイズ、ガラス、有機基板等 ・レンズ特徴:解像度 1.5um 以上、等倍、広画角(4~8インチ) ・本体:~12インチ、研究用 ・光源は全て LED が標準 その他、カスタム設計、レンズ設計・製造・販売、LED光源の販売 | |||
■ 回路パターン用 DPH-35D DPH-25D DPH-15D DPH-12 ■ ソルダーレジスト用 DPS-50T DPS-60T DPH-75BT | |||
用途:半導体後工程、RFフィルター、パワー半導体、電子部品、パッケージ、研究、MEMS 対応基板:ウエハ(特殊ウエハ含む)各種サイズ、ガラス、有機基板など 当社では、カスタム設計やレンズ設計・製造・販売、LED光源の販売も行っています。 | |||
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- 代表製品
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投影露光装置 『MRSシリーズ』 UV-LED光源を採用
- 概要
- ・装置:露光機、投影露光機、ステッパー ・用途:半導体後工程用、RFフィルター用、パワー半導体用、電子部品用、パッケージ用、研究用 ・対応基板:ウエハ(特殊ウエハ含む)各種サイズ、ガラス、有機基板等 ・レンズ特徴:解像度 1.5um 以上、等倍、広画角(4~8インチ) ・本体:~12インチ、研究用 ・光源は全て LED が標準 その他、カスタム設計、レンズ設計・製造・販売、LED光源の販売
- 用途/実績例
高性能ダイレクト露光装置 ※回路パターン用 ※ソルダーレジスト用
- 概要
- ■ 回路パターン用 DPH-35D DPH-25D DPH-15D DPH-12 ■ ソルダーレジスト用 DPS-50T DPS-60T DPH-75BT
- 用途/実績例
フルパネル量産投影露光装置『CMS-Ck』 ★デモ受付中!
- 概要
- 用途:半導体後工程、RFフィルター、パワー半導体、電子部品、パッケージ、研究、MEMS 対応基板:ウエハ(特殊ウエハ含む)各種サイズ、ガラス、有機基板など 当社では、カスタム設計やレンズ設計・製造・販売、LED光源の販売も行っています。
- 用途/実績例
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