マスフローコントローラ - 企業ランキング(全17社)
更新日: 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【その他の特長】 ■低コスト ■容易な据付 ■高速応答性 ■高い信頼性と実績 | 【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査/分析機器・内燃機関・成膜装置・燃料電池 液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品 | ||
【仕様(一部)】 ■フルスケールレンジ:10sccm~5slm ■応答時間:1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91 ■精度:フルスケールの±1%以下 ■直線性:フルスケールの±0.5%以下 ■再現性:フルスケールの±0.2%以下 | 【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査/分析機器・内燃機関・成膜装置 燃料電池・液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品 | ||
【その他の特長】 ■多彩な警告・診断機能 ■RoHS適合 ■フィールドでプログラム可能* ■再校正をしなくても様々なガス選択が可能* *マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応 | 【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査/分析機器・内燃機関・成膜装置・燃料電池 液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品 | ||
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- 代表製品
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マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』
- 概要
- 【その他の特長】 ■低コスト ■容易な据付 ■高速応答性 ■高い信頼性と実績
- 用途/実績例
- 【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査/分析機器・内燃機関・成膜装置・燃料電池 液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品
マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』
- 概要
- 【仕様(一部)】 ■フルスケールレンジ:10sccm~5slm ■応答時間:1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91 ■精度:フルスケールの±1%以下 ■直線性:フルスケールの±0.5%以下 ■再現性:フルスケールの±0.2%以下
- 用途/実績例
- 【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査/分析機器・内燃機関・成膜装置 燃料電池・液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品
デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer
- 概要
- 【その他の特長】 ■多彩な警告・診断機能 ■RoHS適合 ■フィールドでプログラム可能* ■再校正をしなくても様々なガス選択が可能* *マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応
- 用途/実績例
- 【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査/分析機器・内燃機関・成膜装置・燃料電池 液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品
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