設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！
『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。 主要なガス制御アプリケーションに適しています。 ⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、 優れた制御性を発揮します。 【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【仕様(一部)】 ■フルスケールレンジ：10sccm~5slm ■応答時間：1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91 ■精度：フルスケールの±1%以下 ■直線性：フルスケールの±0.5%以下 ■再現性：フルスケールの±0.2%以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
-
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査／分析機器・内燃機関・成膜装置 燃料電池・液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品
カタログ（29）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
私たちは、流体制御機器の開発、製造、販売、輸出入に特化してお客様のニーズに合わせた商品販売及び最新情報の提供等といった、会社として本来当たり前ではあるが、なかなか実現できなかったきめ細かいサービスを、グループの強力なネットワークにより実践していきます。 ・ISO13485認証取得