温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能！ N2、Air、H2、He、Arなどの気体が対象。
当社で取り扱うマスフローコントローラ『MODEL 8700/3660 SERIES』をご紹介します。 表示器付マスフローコントローラ/メータ「MODEL 8700 SERIES」は、 アナログ入出力0-5VDC（4-20mAに変更可能）を有し、 各種機能（瞬時/積算流量表示、アラーム設定）を使用可能です。 スタンダードマスフローコントローラ「MODEL 3660 SERIES」は、 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応します。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ■アナログ入出力は表示器にて変更可能（MODEL 8700 SERIES） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【標準仕様（抜粋）】 ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：5～45℃ ■重量 ・8700MC/MM：約1200g ・8750MC/MM：約1500g ・3660：約1000g ・3665：約1500g
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
地球を取り巻く環境は気体と液体。 それらを計測・制御・発生する技術は社会と産業の発展に必要不可欠であり、 次世代のモノづくりを支える基盤とも言えるでしょう。 コフロックは「流体を科学する」をモットーに流体の 微少量流域を主とした計測・制御技術を探求すること70余年。 多彩なフィールドで信頼を積み重ね、 今日では様々な分野で国内トップシェアの実績を誇っております。 コフロックは人と地球の未来を創る新技術で、 人々の豊かな暮らしを実現すべくチャレンジし続けます。
