デッドボリューム低減！最大流量1SCCM～20SLMのメタルシールマスフローコントローラ
『MODEL 5100 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する メタルシールマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ■制御範囲：2～100％F.S. ■許容周囲温度：0～50℃ ■接ガス部材質：SUS316L、Ni、PTFE、Au ■重量：約1000g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
地球を取り巻く環境は気体と液体。 それらを計測・制御・発生する技術は社会と産業の発展に必要不可欠であり、 次世代のモノづくりを支える基盤とも言えるでしょう。 コフロックは「流体を科学する」をモットーに流体の 微少量流域を主とした計測・制御技術を探求すること70余年。 多彩なフィールドで信頼を積み重ね、 今日では様々な分野で国内トップシェアの実績を誇っております。 コフロックは人と地球の未来を創る新技術で、 人々の豊かな暮らしを実現すべくチャレンジし続けます。
