温度モニタ - 企業ランキング(全5社)
更新日: 集計期間:2025年07月23日〜2025年08月19日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
当温度モニターは、今までに解決できなかった放射率に対する問題とシリコンウエハのプロセス中の測温に対する問題を一挙に解決できる、次世代の非接触半導体プロセス温度モニターです。 ウエハの放射率もリアルタイムにモニタリング。 | PVD装置、CVD装置、RTP装置などの半導体プロセス中のIn-Situウエハ温度モニタリングに最適。 | ||
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- 代表製品
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リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター
- 概要
- 当温度モニターは、今までに解決できなかった放射率に対する問題とシリコンウエハのプロセス中の測温に対する問題を一挙に解決できる、次世代の非接触半導体プロセス温度モニターです。 ウエハの放射率もリアルタイムにモニタリング。
- 用途/実績例
- PVD装置、CVD装置、RTP装置などの半導体プロセス中のIn-Situウエハ温度モニタリングに最適。
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