薄膜形成装置 - 企業ランキング(全5社)

更新日：2025年05月14日集計期間:2025年04月16日〜2025年05月13日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
神港精機株式会社東京支店	所在地東京都従業員数 194 事業内容 ●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器主要取引先大手電気メーカー総合化学メーカー電子材料メーカー真空炉メーカー民間企業研究所公営/国立研究所	導電性カーボン薄膜形成装置（アーク放電スパッタリング装置）応相談	独自開発アーク放電型マグネトロンカソードを多元装備。導電性カーボン薄膜だけでなく各種反応膜（窒化膜・酸窒化膜）を形成可能アーク放電型マグネトロンカソードにより成膜前に基板のイオンエッチングや窒化にも対応。多元カソードをにより基板に合わせて密着層＋導電性カーボン膜の積層成膜。同時スパッタによる導電性カーボン膜への金属の添加など新材料開発に対応。実績豊富な基本チャンバ構成による表面処理用大型バッチタイプとＲ＆Ｄ用のコンパクトタイプの２機種をラインナップ	新デバイスＲ＆Ｄ用機械部品表面処理用
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神港精機株式会社東京支店

所在地

東京都

従業員数

194

事業内容

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器

主要取引先

大手電気メーカー総合化学メーカー電子材料メーカー真空炉メーカー民間企業研究所公営/国立研究所

代表製品

導電性カーボン薄膜形成装置（アーク放電スパッタリング装置）

概要

独自開発アーク放電型マグネトロンカソードを多元装備。導電性カーボン薄膜だけでなく各種反応膜（窒化膜・酸窒化膜）を形成可能アーク放電型マグネトロンカソードにより成膜前に基板のイオンエッチングや窒化にも対応。多元カソードをにより基板に合わせて密着層＋導電性カーボン膜の積層成膜。同時スパッタによる導電性カーボン膜への金属の添加など新材料開発に対応。実績豊富な基本チャンバ構成による表面処理用大型バッチタイプとＲ＆Ｄ用のコンパクトタイプの２機種をラインナップ

用途/実績例

新デバイスＲ＆Ｄ用機械部品表面処理用
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所在地

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事業内容

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