イオンソース - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【RFイオンソース仕様と寸法】 ○グリッド径 Φ180mm 3枚構成、モリブデン製 ○BEAM v 100～1500V ○BEAM ｉ 100～1500mA ○ACC v 100～1000V ○RF POWER 1000W ○GAS FLOW 30～100sccm 【RF NEUTRALIZER仕様と寸法】 ○EMISSION 2500A ○RF POWER 200W ○GAS FLOW Ar5～20sccm ○外形寸法 Φ80×275H（mm） | 光学膜 | ||
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株式会社昭和真空
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- 代表製品
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高出力RFイオンソース 「ISG-180」
- 概要
- 【RFイオンソース仕様と寸法】 ○グリッド径 Φ180mm 3枚構成、モリブデン製 ○BEAM v 100～1500V ○BEAM ｉ 100～1500mA ○ACC v 100～1000V ○RF POWER 1000W ○GAS FLOW 30～100sccm 【RF NEUTRALIZER仕様と寸法】 ○EMISSION 2500A ○RF POWER 200W ○GAS FLOW Ar5～20sccm ○外形寸法 Φ80×275H（mm）
- 用途/実績例
- 光学膜
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株式会社昭和真空
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