イオンビームスパッタ装置 - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2026年01月07日〜2026年02月03日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 独自技術HiTUSテクノロジー ヘリコンイオンソースをプラズマ源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加のみでグリッドレス加速させる画期的なテクノロジーです。 リモートプラズマ方式によるイオンビーム型の成膜法であるため、マグネトロンスパッタ装置が不得意... | 各種成膜試験研究用途に 新たな素材探索用途に ・太陽光発電 ・光学薄膜 ・電池・電池材料 ・ウエアラブルディスプレイ ・大容量記憶装置 ・MEMS ・各種センサー ・磁気ヘッド ・薄膜ヘッド ・サーマルヘッド ・スピントロニクス素材 ・ホイスラー合金 ・ScAlNなどの合金反応膜 | ||
| 高密度イオンソースの開発製造 ターゲットバイアス印加によるスパッタ装置の開発製造 | スピントロニクス用途研究 高磁性薄膜ヘッド用途研究 MEMS開発研究 光学薄膜研究 | ||
| ヘリコンイオンソースをプラズマ源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加のみでグリッドレス加速させる画期的なテクノロジーです。 リモートプラズマ方式によるイオンビーム型の成膜法であるため、マグネトロンスパッタ装置では低レートとなる強磁性体成膜や誘電体反... | 高レートリアクティブ成膜、誘電体・強磁性体成膜用途 高い再現性と経時変化のない成膜で安定生産を支えます ・太陽光発電 ・光学薄膜 ・電池・電池材料 ・ウエアラブルディスプレイ ・大容量記憶装置 ・MEMS ・各種センサー ・磁気ヘッド ・薄膜ヘッド ・磁気ディスク ・サーマル... | ||
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ティー・ケイ・エス株式会社
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- 代表製品
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リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置
- 概要
- 独自技術HiTUSテクノロジー ヘリコンイオンソースをプラズマ源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加のみでグリッドレス加速させる画期的なテクノロジーです。 リモートプラズマ方式によるイオンビーム型の成膜法であるため、マグネトロンスパッタ装置が不得意...
- 用途/実績例
- 各種成膜試験研究用途に 新たな素材探索用途に ・太陽光発電 ・光学薄膜 ・電池・電池材料 ・ウエアラブルディスプレイ ・大容量記憶装置 ・MEMS ・各種センサー ・磁気ヘッド ・薄膜ヘッド ・サーマルヘッド ・スピントロニクス素材 ・ホイスラー合金 ・ScAlNなどの合金反応膜
Plasma Quest Limited 企業紹介
- 概要
- 高密度イオンソースの開発製造 ターゲットバイアス印加によるスパッタ装置の開発製造
- 用途/実績例
- スピントロニクス用途研究 高磁性薄膜ヘッド用途研究 MEMS開発研究 光学薄膜研究
生産用 リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置
- 概要
- ヘリコンイオンソースをプラズマ源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加のみでグリッドレス加速させる画期的なテクノロジーです。 リモートプラズマ方式によるイオンビーム型の成膜法であるため、マグネトロンスパッタ装置では低レートとなる強磁性体成膜や誘電体反...
- 用途/実績例
- 高レートリアクティブ成膜、誘電体・強磁性体成膜用途 高い再現性と経時変化のない成膜で安定生産を支えます ・太陽光発電 ・光学薄膜 ・電池・電池材料 ・ウエアラブルディスプレイ ・大容量記憶装置 ・MEMS ・各種センサー ・磁気ヘッド ・薄膜ヘッド ・磁気ディスク ・サーマル...
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ティー・ケイ・エス株式会社
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